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han34912

铜虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射在玻璃片上镀了一层AZO薄膜,如何表征

现在还在摸索工艺,所以我也不确定是否在玻璃片成功得镀上了薄膜

我该如何确定玻璃片上生长了AZO薄膜。我利用四探针去测方块电阻,但是失败了 。。。操作仪器说测不了,但不确定原因

我还考虑做一下XRD,但是如果我的薄膜不致密的话,X射线照射的部位如果没有薄膜,可能会找到玻璃吧

现在很纠结 求助高人啊
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明月千里

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-16 07:49:42
最简单的方法是用UV-Vis测一下transmittance谱,如果有膜的话就会出ZnO的特征吸收边(380nm左右),即使数十纳米厚的薄膜也可以测出的。四探针没能测出电阻是因为电阻太大超出了测量量程,以前也碰到过类似情况。
9楼2012-10-15 09:35:54
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