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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射做薄膜失败了吗
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aslanchen

银虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by wbcui at 2012-02-04 16:22:30:
不是吧，有可能CeO2作为定扎中心，可以阻碍超导态和正常态相界的迁移
这样，超导相的理解电流密度才可以提高吧？
CeO2作为氧化物，其电阻肯定不小，不可能让超导电流有几个数量级的提升。

这种第二相的加入 ...

呵呵，你说的是对的，CeO2一般是为了增加 flux pinning，事实上，我不做超导这块，只是天天听组里人讲，也就知道了写毛皮。
关于CeO2 与YBCO ，关系到组里人的科研，我不好多说。
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11楼2012-02-06 10:37:43
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惊蛰8277

银虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by aslanchen at 2012-02-02 13:29:06:
呵呵呵，经典的问题，以前我也有过这样的问题，你做的氧化铈薄膜有多厚？

都1微米了，还导通呢
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12楼2012-02-15 14:04:36
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惊蛰8277

银虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by aslanchen at 2012-02-02 13:33:33:
建议你第一步把样品的四周部分都切掉，这样才能保证“侧面绝对没有粘上Pt”
2，如果薄膜<50nm，短路的可能性很大
3，看你是怎么连接2个电极，是压铟还是电焊，或者直接用探针，都matter，比如探针可以刺穿pt ...

谢谢。
都1微米了，还短路呢。
我在氧化铝基片上DC溅射Pt，然后挡住一部分，用RF磁控溅射做氧化铈的薄膜，然后在氧化铈薄膜上面在溅射Pt。
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13楼2012-02-15 14:08:51
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惊蛰8277

银虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by wbcui at 2012-02-02 13:34:29:
是否是因为CeO2溅射过程中失氧，变成导体？
CeO很厚的情况下也导电么？

CeO2在空气中退火过的，不会变成导体。

1微米也导电。
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14楼2012-02-15 14:09:45
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foxs1

禁言 (初入文坛)
wbcui(金币-5): 涉嫌做广告，警告一次，下次直接屏蔽内容，并且作为违规存档 2012-02-15 21:58:36
本帖内容被屏蔽
15楼2012-02-15 17:20:09
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aslanchen

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
13楼: Originally posted by 惊蛰8277 at 2012-02-14 18:08:51:
谢谢。
都1微米了，还短路呢。
我在氧化铝基片上DC溅射Pt，然后挡住一部分，用RF磁控溅射做氧化铈的薄膜，然后在氧化铈薄膜上面在溅射Pt。

建议你把四周都挡起来，短路说明一个问题，就是2层pt接触了
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16楼2012-02-15 22:31:22
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惊蛰8277

银虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by aslanchen at 2012-02-15 22:31:22:
建议你把四周都挡起来，短路说明一个问题，就是2层pt接触了

挡起来的啊。
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17楼2012-02-16 11:07:34
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sxjsn1

金虫 (小有名气)

veni vedi veci
我想请问一下，您做磁控溅射的时候，溅射完腔室内开腔充的是空气还是氮气？
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夜半酒醒人去后，更持红烛赏残花
18楼2012-08-19 16:49:50
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toowowo

铜虫 (正式写手)
悠然zx11: 鼓励回帖交流，欢迎常来 2012-08-20 09:39:42
Sample Text

楼主您好，请问你有做过TIO2薄膜么？用磁控溅射做TIO2薄膜的时候，要做TIO2的靶材，可是我最近做的TIO2靶材在烘烤的时候总是会缩得很厉害，请问那会是什么原因呢？谢谢了
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19楼2012-08-19 17:22:33
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惊蛰8277

银虫 (小有名气)
引用回帖:
19楼: Originally posted by toowowo at 2012-08-19 17:22:33
Sample Text

楼主您好，请问你有做过TIO2薄膜么？用磁控溅射做TIO2薄膜的时候，要做TIO2的靶材，可是我最近做的TIO2靶材在烘烤的时候总是会缩得很厉害，请问那会是什么原因呢？谢谢了

木有做过啊。
陶瓷靶材缩的厉害，是不是烧结没烧好呢？我也不太清楚的。
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20楼2012-08-22 00:34:10
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