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惊蛰8277

银虫 (小有名气)

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[求助] 磁控溅射做薄膜失败了吗已有1人参与

请问大家一个问题：
我在氧化铝基片上DC溅射Pt，然后用RF磁控溅射做氧化铈的薄膜，然后在氧化铈薄膜上面在溅射Pt。就是想要测量垂直方向的电阻。但是两个Pt电极老是导通的，侧面绝对没有粘上Pt。我觉得是氧化铈薄膜不致密，然后通过改进RF溅射参数，增大膜厚，但是仍然导通。啊啊啊，崩溃了。
请问为什么呀？还可以怎么改进呢？谢谢！

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1楼 2011-12-30 13:59:02

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惊蛰8277

银虫 (小有名气)

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引用回帖:

楼: Originally posted by aslanchen at 2012-02-02 13:33:33:
建议你第一步把样品的四周部分都切掉，这样才能保证“侧面绝对没有粘上Pt”
2，如果薄膜<50nm，短路的可能性很大
3，看你是怎么连接2个电极，是压铟还是电焊，或者直接用探针，都matter，比如探针可以刺穿pt ...

谢谢。
都1微米了，还短路呢。
我在氧化铝基片上DC溅射Pt，然后挡住一部分，用RF磁控溅射做氧化铈的薄膜，然后在氧化铈薄膜上面在溅射Pt。