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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射做薄膜失败了吗
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惊蛰8277

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射做薄膜失败了吗 已有1人参与

请问大家一个问题：
  我在氧化铝基片上DC溅射Pt，然后用RF磁控溅射做氧化铈的薄膜，然后在氧化铈薄膜上面在溅射Pt。就是想要测量垂直方向的电阻。但是两个Pt电极老是导通的，侧面绝对没有粘上Pt。我觉得是氧化铈薄膜不致密，然后通过改进RF溅射参数，增大膜厚，但是仍然导通。啊啊啊，崩溃了。
  请问为什么呀？还可以怎么改进呢？谢谢！
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1楼 2011-12-30 13:59:02
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sxjsn1

金虫 (小有名气)

veni vedi veci
我想请问一下，您做磁控溅射的时候，溅射完腔室内开腔充的是空气还是氮气？
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夜半酒醒人去后，更持红烛赏残花
18楼2012-08-19 16:49:50
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
2楼2011-12-30 19:44:17
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惊蛰8277

银虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by kebaoyuan at 2011-12-30 19:44:17:
你是通过掩膜板来做电极的吗？  是否电极间距离太小？  

如果需做高精度的掩膜板请联系我们。

不是，垂直电极，不是表面电极。。
赞一下 回复此楼
3楼2012-01-01 16:48:34
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aslanchen

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
惊蛰8277(金币+1): 2012-02-15 14:11:18
呵呵呵，经典的问题，以前我也有过这样的问题，你做的氧化铈薄膜有多厚？
赞一下 回复此楼
4楼2012-02-02 13:29:06
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