应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射做薄膜失败了吗
52/1返回列表
查看: 3650  |  回复: 21
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

惊蛰8277

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射做薄膜失败了吗 已有1人参与

请问大家一个问题：
  我在氧化铝基片上DC溅射Pt，然后用RF磁控溅射做氧化铈的薄膜，然后在氧化铈薄膜上面在溅射Pt。就是想要测量垂直方向的电阻。但是两个Pt电极老是导通的，侧面绝对没有粘上Pt。我觉得是氧化铈薄膜不致密，然后通过改进RF溅射参数，增大膜厚，但是仍然导通。啊啊啊，崩溃了。
  请问为什么呀？还可以怎么改进呢？谢谢！
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2011-12-30 13:59:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sxjsn1

金虫 (小有名气)

veni vedi veci
我想请问一下，您做磁控溅射的时候，溅射完腔室内开腔充的是空气还是氮气？
赞一下 回复此楼
夜半酒醒人去后，更持红烛赏残花
18楼2012-08-19 16:49:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 22 个回答

kebaoyuan

禁言 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
2楼2011-12-30 19:44:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

惊蛰8277

银虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by kebaoyuan at 2011-12-30 19:44:17:
你是通过掩膜板来做电极的吗？  是否电极间距离太小？  

如果需做高精度的掩膜板请联系我们。

不是，垂直电极，不是表面电极。。
赞一下 回复此楼
3楼2012-01-01 16:48:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aslanchen

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
惊蛰8277(金币+1): 2012-02-15 14:11:18
呵呵呵，经典的问题，以前我也有过这样的问题，你做的氧化铈薄膜有多厚？
赞一下 回复此楼
4楼2012-02-02 13:29:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 22 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭