| 查看: 4326 | 回复: 21 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
磁控溅射做薄膜失败了吗 已有1人参与
|
||
|
请问大家一个问题： 我在氧化铝基片上DC溅射Pt，然后用RF磁控溅射做氧化铈的薄膜，然后在氧化铈薄膜上面在溅射Pt。就是想要测量垂直方向的电阻。但是两个Pt电极老是导通的，侧面绝对没有粘上Pt。我觉得是氧化铈薄膜不致密，然后通过改进RF溅射参数，增大膜厚，但是仍然导通。啊啊啊，崩溃了。 请问为什么呀？还可以怎么改进呢？谢谢！ |
回复此楼» 猜你喜欢
圆柱、软包、方形电池卷绕机，设备结构与选型有哪些本质差异
已经有0人回复
-
今年没中，请各位大神帮我看一下，评审结果，大概几个ABC。
已经有17人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有102人回复
-
面上函评意见出来了，像什么等级？
已经有19人回复
-
西工大张震教授能源电催化团队招收2027级材料/化学/化工推免硕士研究生及博士研究生
已经有2人回复
-
西工大张震教授能源电催化团队招收2027级材料/化学/化工推免硕士研究生及博士研究生
已经有0人回复
-
薄膜 / 电池片变温测试数据波动大，如何通过温控提升实验重复性
已经有0人回复
-
西北工业大学材料学院电化学传感与催化课题组招收2027年推免研究生、博士生、博士后
已经有5人回复
-
小批量多品种生产，叠片机如何兼顾效率与精度？
已经有0人回复
-
招收 哈工大深圳﹣大湾区大学联合培养博士生1名，材料与化工专业，2027年入学
已经有32人回复
16楼2012-02-15 22:31:22
感谢参与，应助指数 +1
|
本帖内容被屏蔽 |
2楼2011-12-30 19:44:17
3楼2012-01-01 16:48:34
4楼2012-02-02 13:29:06