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惊蛰8277

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[求助] 磁控溅射做薄膜失败了吗已有1人参与

请问大家一个问题：
我在氧化铝基片上DC溅射Pt，然后用RF磁控溅射做氧化铈的薄膜，然后在氧化铈薄膜上面在溅射Pt。就是想要测量垂直方向的电阻。但是两个Pt电极老是导通的，侧面绝对没有粘上Pt。我觉得是氧化铈薄膜不致密，然后通过改进RF溅射参数，增大膜厚，但是仍然导通。啊啊啊，崩溃了。
请问为什么呀？还可以怎么改进呢？谢谢！

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1楼 2011-12-30 13:59:02

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惊蛰8277

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引用回帖:

19楼: Originally posted by toowowo at 2012-08-19 17:22:33
Sample Text

楼主您好，请问你有做过TIO2薄膜么？用磁控溅射做TIO2薄膜的时候，要做TIO2的靶材，可是我最近做的TIO2靶材在烘烤的时候总是会缩得很厉害，请问那会是什么原因呢？谢谢了

木有做过啊。
陶瓷靶材缩的厉害，是不是烧结没烧好呢？我也不太清楚的。