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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】ZnO的磁控溅射
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cristianwj

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】ZnO的磁控溅射

实验室有台直流磁控溅射设备，打算利用起来溅射ZnO薄膜。
想请教一下，用磁控溅射的话是用ZnO靶材好呢，还是用Zn靶?

如果用Zn靶的话，是不是需要通入氩气和氧气，调节制备ZnO。
用ZnO的话是不是就不用氧气了，但是ZnO靶材可以用在直流磁控溅射中吗？
（不是射频溅射）

另外打听一下，一个圆靶材（3寸）大概需要多少钱？
怎么有的报价2000，有的才3-500？
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1楼 2011-03-08 20:11:13
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cristianwj

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 418783132 at 2011-03-09 11:35:50:
用Zn ，报价有时和纯度有关，  ，你是哪里的？？？

我在甘肃兰州
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3楼2011-03-09 12:22:33
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418783132

木虫 (著名写手)
★ ★
cristianwj(金币+2):谢谢参与
cristianwj(金币+4): 感谢！ 2011-03-09 12:22:05
enquan123(金币+1): 鼓励交流 2011-03-09 16:41:13
用Zn ，报价有时和纯度有关，  ，你是哪里的？？？
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2011-03-09 11:35:50
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418783132

木虫 (著名写手)
cristianwj(金币+4): 谢谢 2011-03-15 08:40:55
直流溅射只能做导体材料，，，
赞一下 回复此楼
4楼2011-03-12 17:08:48
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