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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射ZnO薄膜 真空室污染严重 壁上和底部有好多红蓝条纹
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19881112

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
问一下你溅射ZnO薄膜的时候，需要高真空不？
我最近做PLD生长ZnO Buffer，发现腔室的颜色跟你的差不多，我们认为 真空度过高以后，ZnO处于还原气氛下生长，
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立誓成功，蔑视之。
11楼2012-05-20 10:40:19
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fupengfei234

新虫 (初入文坛)
我怎么发帖啊???
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12楼2012-05-23 15:52:57
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王致远

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
呵呵，镀膜不均匀的原因呀，出现了彩色条纹。
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13楼2012-06-05 21:10:39
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scuthb

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我最近在用磁控，也发现同样的现象，隔一段时间清洁一次。
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14楼2012-06-09 16:40:02
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finetx

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
镀氧化物各种有颜色啊，非常正常。溅射不同种类薄膜时更换炉腔内挡板即可有效避免污染
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三人行必有我师
15楼2012-07-11 17:29:47
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L_sen2013

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
10楼: Originally posted by anyupenglilin at 2012-04-08 12:06:23
就是薄膜厚度不同。不是脏了。但是腔内还是应该经常清理的

怎么清理啊
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16楼2014-10-30 09:41:32
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