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19881112

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
问一下你溅射ZnO薄膜的时候,需要高真空不?
我最近做PLD生长ZnO Buffer,发现腔室的颜色跟你的差不多,我们认为 真空度过高以后,ZnO处于还原气氛下生长,
立誓成功,蔑视之。
11楼2012-05-20 10:40:19
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fupengfei234

新虫 (初入文坛)

我怎么发帖啊???
12楼2012-05-23 15:52:57
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王致远

金虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
呵呵,镀膜不均匀的原因呀,出现了彩色条纹。
13楼2012-06-05 21:10:39
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scuthb

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我最近在用磁控,也发现同样的现象,隔一段时间清洁一次。
14楼2012-06-09 16:40:02
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finetx

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
镀氧化物各种有颜色啊,非常正常。溅射不同种类薄膜时更换炉腔内挡板即可有效避免污染
三人行必有我师
15楼2012-07-11 17:29:47
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L_sen2013

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
10楼: Originally posted by anyupenglilin at 2012-04-08 12:06:23
就是薄膜厚度不同。不是脏了。但是腔内还是应该经常清理的

怎么清理啊
16楼2014-10-30 09:41:32
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