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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射ZnO薄膜 真空室污染严重 壁上和底部有好多红蓝条纹
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c_y_y

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射ZnO薄膜 真空室污染严重 壁上和底部有好多红蓝条纹 已有14人参与

请问各位大侠，这是正常现象吗？

溅射金属材料后，真空室没那么脏
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1楼 2012-03-20 20:13:24
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

wangyinquan

铁虫 (小有名气)
★
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磁控溅射镀膜在薄膜的均匀性方面有一定的局限性，随着距离靶材中央距离的增大，薄膜厚度会逐渐变薄，并且会出现环状彩色条纹，是由于薄膜厚度不同，反射不同波长的光线引起的，属正常现象
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8楼2012-03-25 22:32:58
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普通回帖

minglight9

铁杆木虫 (著名写手)

工程师
★ ★
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蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-03-21 08:10:49
个人觉得红蓝条纹出现是很正常的，因为ZnO薄膜是透明的，当ZnO的厚度等于红光波长的一半时候，刚好吸收红光，所以呈蓝色。这是个人的拙见啊。
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再牛逼的肖邦也弹不出老子的悲伤。
2楼2012-03-21 00:22:04
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wushujie

木虫 (正式写手)

科研菜鸟
却实很正常！
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比我们牛的人都在努力，我们还能不去拼命吗？
3楼2012-03-21 08:29:00
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c_y_y

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by minglight9 at 2012-03-21 00:22:04:
个人觉得红蓝条纹出现是很正常的，因为ZnO薄膜是透明的，当ZnO的厚度等于红光波长的一半时候，刚好吸收红光，所以呈蓝色。这是个人的拙见啊。

那是我镀膜太厚了，

如果只有100nm的话，就没有条纹了吧
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4楼2012-03-21 09:15:25
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待飞的烟凝

银虫 (初入文坛)
qiqiqiqi: , 鼓励积极回贴 2012-03-21 10:08:22
那是镀膜不均匀
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5楼2012-03-21 09:19:52
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kuailefyz

木虫 (正式写手)
可能是镀膜不均引起
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激情可以创造奇迹
6楼2012-03-22 09:32:37
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lee0341

铁杆木虫 (著名写手)
★
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壁上的膜不均匀就这样的，正常现象
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戒躁
7楼2012-03-22 10:00:13
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neves

木虫 (正式写手)
★
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建议你在壁上贴一些薄的铝箔遮挡一下，隔段时间更换一次，不然时间久了壁上的膜积累厚了会脱落，引起更大的污染。
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9楼2012-04-08 10:55:46
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anyupenglilin

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
就是薄膜厚度不同。不是脏了。但是腔内还是应该经常清理的
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10楼2012-04-08 12:06:23
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