24小时热门版块排行榜    

查看: 4889  |  回复: 18
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

halcyon1988

金虫 (小有名气)


[交流] 磁控溅射镀ZnO,大家真空度一般抽到多少?

我们实验室磁控溅射真空度一般都抽到5×10^(-4)Pa之后开始溅射。 最近实验室磁控溅射仪坏了,只能抽到十的负三Pa,不知道大家磁控溅射真空都抽到多少Pa?像我抽到2×10^(-3)能开始溅射吗?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

halcyon1988

金虫 (小有名气)


引用回帖:
3楼: Originally posted by bill_shark at 2011-11-27 18:24:43:
真空度当然越高越好,如果本地真空低的话,可能做出来的ZnO里面的氧含量会有些变化,因为真空室内吸附的氧气没有完全抽出,就相当于在镀制薄膜时充氧了。这样的薄膜透过率会有些变化,导电性也会变。
我们一般也 ...

漏气是没错,当天抽到10的负三次方帕,第二天就到10五次方了,但是让那边公司的师傅来维修,都没有检测到漏气的地方。至少真空室是没有检测到漏气点。难道是分子泵周围有问题?
7楼2011-11-28 19:24:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 19 个回答

kingluck

至尊木虫 (文坛精英)



halcyon1988(金币+1):谢谢参与
当然是越高越好,最好在1点几乘负4左右。
2楼2011-11-27 16:00:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bill_shark

银虫 (小有名气)


★ ★
halcyon1988(金币+1):谢谢参与
xjajx(金币+1): 2011-11-30 19:27:43
真空度当然越高越好,如果本地真空低的话,可能做出来的ZnO里面的氧含量会有些变化,因为真空室内吸附的氧气没有完全抽出,就相当于在镀制薄膜时充氧了。这样的薄膜透过率会有些变化,导电性也会变。
我们一般也是抽到5e-4Pa开始溅射的。
磁控溅射机坏了?抽不动的话估计是漏气吧?用酒精检漏了么?
3楼2011-11-27 18:24:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ybhan

金虫 (正式写手)


★ ★
halcyon1988(金币+1):谢谢参与
xjajx(金币+1): 2011-11-30 19:27:52
不认为真空度越高愈好!因为真空度太低的话,建设速率将非常低,我一般将本地真空抽到10^-1 Pa,然后真空度保持在大概2Pa左右溅射
4楼2011-11-28 09:24:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +5 炎黄贵胄 2026-08-22 6/300 2026-08-24 06:34 by sincosx
[基金申请] 建议基金发布提前给出明确的时间点 +11 kulium 2026-08-21 14/700 2026-08-24 02:12 by 流流伤
[基金申请] 2026国自然函评费到账 +16 羊腰板 2026-08-21 17/850 2026-08-23 23:02 by tianxiaochun
[基金申请] 让我中一个面上吧! +12 大萍1987 2026-08-20 15/750 2026-08-23 20:44 by 大萍1987
[基金申请] 2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战 +4 process2012 2026-08-23 5/250 2026-08-23 19:58 by jurkat.1640
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +24 yaoyewhu2008 2026-08-20 26/1300 2026-08-22 17:43 by kammury
[基金申请] 人气不行了 +8 fansofjerry 2026-08-21 8/400 2026-08-22 16:30 by zyqchem
[基金申请] 时间戳今天,20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
[基金申请] 放榜前的不淡定 40+4 snowwithsea 2026-08-19 14/700 2026-08-21 23:51 by cratir
[基金申请] 科研孤儿太难了 +17 我4大白菜 2026-08-20 18/900 2026-08-21 20:57 by zhangev
[基金申请] 看来今天不会放榜了? +8 chengyan1220 2026-08-21 11/550 2026-08-21 17:52 by dcqxinyang
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 我面上完蛋了 +7 且听虎啸 2026-08-20 8/400 2026-08-21 12:31 by 酷酷墨镜
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧? +4 哈哈蛤? 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[论文投稿] 投稿咨询 +5 wwm09 2026-08-17 7/350 2026-08-21 10:11 by 期刊论文帮手
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 时间戳变了,能看出什么问题? +18 基诺咪客 2026-08-17 23/1150 2026-08-20 17:19 by Godzela
[基金申请] 重要消息,中午系统在维护 +11 yuleib84 2026-08-18 12/600 2026-08-20 11:09 by xskun
[基金申请] 明天放榜? +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
信息提示
请填处理意见