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halcyon1988

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[交流] 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？

我们实验室磁控溅射真空度一般都抽到5×10^（-4）Pa之后开始溅射。最近实验室磁控溅射仪坏了，只能抽到十的负三Pa，不知道大家磁控溅射真空都抽到多少Pa？像我抽到2×10^（-3）能开始溅射吗？

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1楼 2011-11-27 15:39:04

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halcyon1988

金虫 (小有名气)

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引用回帖:

3楼: Originally posted by bill_shark at 2011-11-27 18:24:43:
真空度当然越高越好，如果本地真空低的话，可能做出来的ZnO里面的氧含量会有些变化，因为真空室内吸附的氧气没有完全抽出，就相当于在镀制薄膜时充氧了。这样的薄膜透过率会有些变化，导电性也会变。
我们一般也 ...

漏气是没错，当天抽到10的负三次方帕，第二天就到10五次方了，但是让那边公司的师傅来维修，都没有检测到漏气的地方。至少真空室是没有检测到漏气点。难道是分子泵周围有问题？