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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？
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halcyon1988

金虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？

我们实验室磁控溅射真空度一般都抽到5×10^（-4）Pa之后开始溅射。 最近实验室磁控溅射仪坏了，只能抽到十的负三Pa，不知道大家磁控溅射真空都抽到多少Pa？像我抽到2×10^（-3）能开始溅射吗？
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1楼2011-11-27 15:39:04
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kingluck

至尊木虫 (文坛精英)
★
halcyon1988(金币+1):谢谢参与
当然是越高越好，最好在1点几乘负4左右。
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2楼2011-11-27 16:00:09
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