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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？
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halcyon1988

金虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？

我们实验室磁控溅射真空度一般都抽到5×10^（-4）Pa之后开始溅射。 最近实验室磁控溅射仪坏了，只能抽到十的负三Pa，不知道大家磁控溅射真空都抽到多少Pa？像我抽到2×10^（-3）能开始溅射吗？
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1楼2011-11-27 15:39:04
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jnxyzhhh

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们一般抽到7e-4pa溅射时采用1.0pa,
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18楼2012-06-07 22:34:33
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