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halcyon1988

金虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？

我们实验室磁控溅射真空度一般都抽到5×10^（-4）Pa之后开始溅射。 最近实验室磁控溅射仪坏了，只能抽到十的负三Pa，不知道大家磁控溅射真空都抽到多少Pa？像我抽到2×10^（-3）能开始溅射吗？
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1楼 2011-11-27 15:39:04
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bill_shark

银虫 (小有名气)
halcyon1988(金币+5): 2011-11-30 16:37:58
引用回帖:
11楼: Originally posted by halcyon1988 at 2011-11-30 11:15:57:
请问如何检测是否是进气的地方漏呢？还是用酒精吗？
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

酒精也可以，如果你有喷枪的话也可以对着吹气，看气压会不会上升。或者进气另一头连接的钢瓶有没有漏气，（一般钢瓶和进气管之间有个控制阀接流量计的，所以如果控制阀关死了钢瓶的气压是不会下降的。）
有的时候漏气量很小，酒精也检测不出来，我们是用手轻轻摇一下进气管，（比较野蛮。。。）如果气压上升了就是这里漏气了。检测漏气的时候要在高真空下检测，大约1e-2Pa以下，低真空是很难测出来的，除非漏孔很大。
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12楼2011-11-30 12:04:57
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kingluck

至尊木虫 (文坛精英)
★
halcyon1988(金币+1):谢谢参与
当然是越高越好，最好在1点几乘负4左右。
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2楼2011-11-27 16:00:09
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bill_shark

银虫 (小有名气)
★ ★
halcyon1988(金币+1):谢谢参与
xjajx(金币+1): 2011-11-30 19:27:43
真空度当然越高越好，如果本地真空低的话，可能做出来的ZnO里面的氧含量会有些变化，因为真空室内吸附的氧气没有完全抽出，就相当于在镀制薄膜时充氧了。这样的薄膜透过率会有些变化，导电性也会变。
我们一般也是抽到5e-4Pa开始溅射的。
磁控溅射机坏了？抽不动的话估计是漏气吧？用酒精检漏了么？
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3楼2011-11-27 18:24:43
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ybhan

金虫 (正式写手)
★ ★
halcyon1988(金币+1):谢谢参与
xjajx(金币+1): 2011-11-30 19:27:52
不认为真空度越高愈好！因为真空度太低的话，建设速率将非常低，我一般将本地真空抽到10^-1 Pa，然后真空度保持在大概2Pa左右溅射
赞一下(2人) 回复此楼
4楼2011-11-28 09:24:55
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