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halcyon1988

金虫 (小有名气)

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[交流] 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？

我们实验室磁控溅射真空度一般都抽到5×10^（-4）Pa之后开始溅射。最近实验室磁控溅射仪坏了，只能抽到十的负三Pa，不知道大家磁控溅射真空都抽到多少Pa？像我抽到2×10^（-3）能开始溅射吗？

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1楼 2011-11-27 15:39:04

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bill_shark

银虫 (小有名气)

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halcyon1988(金币+5): 2011-11-30 16:37:58

引用回帖:

11楼: Originally posted by halcyon1988 at 2011-11-30 11:15:57:
请问如何检测是否是进气的地方漏呢？还是用酒精吗？
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

酒精也可以，如果你有喷枪的话也可以对着吹气，看气压会不会上升。或者进气另一头连接的钢瓶有没有漏气，（一般钢瓶和进气管之间有个控制阀接流量计的，所以如果控制阀关死了钢瓶的气压是不会下降的。）
有的时候漏气量很小，酒精也检测不出来，我们是用手轻轻摇一下进气管，（比较野蛮。。。）如果气压上升了就是这里漏气了。检测漏气的时候要在高真空下检测，大约1e-2Pa以下，低真空是很难测出来的，除非漏孔很大。