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halcyon1988

金虫 (小有名气)

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[交流] 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？

我们实验室磁控溅射真空度一般都抽到5×10^（-4）Pa之后开始溅射。最近实验室磁控溅射仪坏了，只能抽到十的负三Pa，不知道大家磁控溅射真空都抽到多少Pa？像我抽到2×10^（-3）能开始溅射吗？

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1楼2011-11-27 15:39:04

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bill_shark

银虫 (小有名气)

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引用回帖:

7楼: Originally posted by halcyon1988 at 2011-11-28 19:24:43:
漏气是没错，当天抽到10的负三次方帕，第二天就到10五次方了，但是让那边公司的师傅来维修，都没有检测到漏气的地方。至少真空室是没有检测到漏气点。难道是分子泵周围有问题？

有可能是进气的地方漏，我们机器经常在这里漏，还有就是气阀用的时间长了会松动。。。分子泵漏气的话容易损坏，要小心。