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玖月冥

金虫 (正式写手)

[求助] 我用磁控溅射镀的硼膜，是这个样子的，请问高手们是什么原因，该怎么办？

初步开始接触磁控溅射，请高手们指点
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1楼 2011-08-02 10:56:16
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玖月冥

金虫 (正式写手)
莫有人哪。。。
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2楼2011-08-03 09:46:21
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kissyliu

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

玖月冥(金币+10): 2011-08-04 09:12:03
这个问题，需要看你的实验条件才能分析！单纯看着两个图得不出什么好结论！

有可能是溅射功率太大，基体加热温度太高，冷却时间太短，等各种问题造成的薄膜龟裂，需要你提供更多一点的信息，还有可能是氧化杂质，这个都不好说！
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3楼2011-08-03 23:53:57
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玖月冥

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by kissyliu at 2011-08-03 23:53:57:
这个问题，需要看你的实验条件才能分析！单纯看着两个图得不出什么好结论！

有可能是溅射功率太大，基体加热温度太高，冷却时间太短，等各种问题造成的薄膜龟裂，需要你提供更多一点的信息，还有可能是氧化杂质 ...

我的实验条件是溅射功率200w，压强分别是1.2p和4p，基体温度应该不高，因为整个过程都有冷却水冷却的，时间是3个小时，我感觉可能是功率过高造成的。谢谢您啊~~~
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4楼2011-08-04 09:10:26
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haode22

金虫 (正式写手)
什么时候裂的？是做完取出来就这样吗？还是放置一段时间才裂的？
什么衬底？洗干净了么？
溅射时间长短，如果有人做过建议先研究一下文献。
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逐渐成为工作狂，技术狂.............
5楼2011-08-04 11:00:05
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玖月冥

金虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by haode22 at 2011-08-04 11:00:05:
什么时候裂的？是做完取出来就这样吗？还是放置一段时间才裂的？
什么衬底？洗干净了么？
溅射时间长短，如果有人做过建议先研究一下文献。

基底是硅片，洗干净了，溅射3小时，好像没有多少人在做，您可以提供几篇文献么？谢谢啦~~~
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6楼2011-08-04 11:48:07
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persuit2012

新虫 (小有名气)
各位仁兄，想请教下  你们用的磁控溅射仪是哪个厂家的？优缺点、性能参数……可以溅射Cu吗？溅射效果怎么样？         谢谢！Q675492067
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7楼2011-09-21 10:56:37
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yanglei839

金虫 (正式写手)

木虫
膜的应力太大导致开裂，可以选择镀膜时间短一些，或是基底处理一下
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hopeisagoodthing........
8楼2014-04-23 18:58:10
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zodiac13

金虫 (小有名气)
时间太长了，衬底温度高，然后薄膜和硅片的热膨胀系数不一样导致的薄膜开裂。
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9楼2014-04-23 19:03:25
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zzq18340

新虫 (初入文坛)
请问楼主镀膜用的什么参数啊，我要在镍基单晶上镀层硼膜啊。求
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好好加油！
10楼2014-09-22 22:35:32
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