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1105wf

金虫 (正式写手)


[交流] 【求助】射频磁控溅射镀4um厚的铝膜,颜色发白是怎么回事啊~~~

采用射频磁控溅射的方法,在玻璃基片上镀4um厚的铝膜,
铝膜没有光泽,颜色发白是怎么回事啊~~~
以前镀的铝薄膜,光泽很好,颜色也是银白色,不知道现在后铝膜颜色发白是什么原因~~
虫虫们帮忙分析一下哈~~
现在学校不能做扫描电镜,也不知道是不是致密性的问题
有没有人遇到这种情况啊
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1105wf

金虫 (正式写手)


这个不清楚
我其实镀的是Al/Al2O3/Al
厚度分别是250nm,250nm,4um
最后一层Al镀出来的颜色泛白   实在不知道是什么原因
3楼2011-04-04 17:42:14
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treechen

木虫 (小有名气)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
1105wf(金币+2): O(∩_∩)O谢谢 2011-04-04 16:44:51
1105wf(金币+1): 2011-04-04 17:40:30
1105wf(金币+7): 2011-04-20 09:13:01
是不是氧化了,我们有次镀的是黑的,电压没控制好
2楼2011-04-04 16:22:25
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Langrisser

新虫 (初入文坛)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
请问一下镀Al2O3工艺参数大概多少?
4楼2011-10-12 22:17:08
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xjtu-sunhl

金虫 (正式写手)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
如果镀Al和Al2O3用的是同一块铝靶,很可能是最外层的Al膜略有氧化。
5楼2011-10-12 23:05:10
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