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gl_zju

金虫 (小有名气)

[求助] 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别?

电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别?两者镀膜质量有差异吗?
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纳米材料(一维硅纳米材料)交流学习
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yoyojn

木虫 (著名写手)

据说电子束比磁控溅射对衬底的顺上损伤小,个人没比较过。
9楼2011-07-26 08:57:30
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