应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
51/1返回列表
查看: 4275  |  回复: 23
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

lknife

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请教磁控溅射金属膜问题

请教磁控溅射金属膜问题：

    我用中频磁控溅射镀铝和铜，请问为什么镜面效果不好，表面不光洁呢？铝表面呈颗粒状，似乎不致密，但从断面看还是比较致密的，只是呈柱状生长，有些凸起于表面形成了颗粒，我是在常温溅射沉积，溅射电压大概在600V~700V，气压在0.3~0.4Pa，衬底没有加偏压
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

eagle_1109

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2010-12-30 09:42:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

god1999

金虫 (小有名气)
你这个是怎么照的SEM求指教
赞一下 回复此楼
15楼2013-01-29 10:52:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 24 个回答

lknife

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by lknife at 2010-12-30 09:42:50:
请教磁控溅射金属膜问题：

    我用中频磁控溅射镀铝和铜，请问为什么镜面效果不好，表面不光洁呢？铝表面呈颗粒状，似乎不致密，但从断面看还是比较致密的，只是呈柱状生长，有些凸起于表面形成了颗粒，我是在 ...

刚才断面没传上去，这一张为载玻片上镀铜，再镀铝的断面
   btw:原来图片格式中.jpg和.JPG是不一样的啊？论坛不认.JPG


[ Last edited by lknife on 2010-12-30 at 09:49 ]
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2010-12-30 09:44:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lknife

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 睁不开眼的狼 at 2010-12-30 19:48:09:
什么气氛？

纯Ar气环境
回复此楼
4楼2010-12-31 08:53:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

deler

铁杆木虫 (小有名气)
★
lknife(金币+1):谢谢参与
金属膜为什么用射频溅射呢？用直流溅射不就行了？
楼主取截面使用液氮冷却后敲碎的？

[ Last edited by deler on 2010-12-31 at 12:06 ]
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2010-12-31 12:03:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 24 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭