24小时热门版块排行榜

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

lknife

银虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 361.9
帖子: 98
在线: 61.8小时
虫号: 1110689

[交流] 【求助】请教磁控溅射金属膜问题

请教磁控溅射金属膜问题：

我用中频磁控溅射镀铝和铜，请问为什么镜面效果不好，表面不光洁呢？铝表面呈颗粒状，似乎不致密，但从断面看还是比较致密的，只是呈柱状生长，有些凸起于表面形成了颗粒，我是在常温溅射沉积，溅射电压大概在600V~700V，气压在0.3~0.4Pa，衬底没有加偏压

回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

eagle_1109

» 猜你喜欢

论文终于录用啦！满足毕业条件了已经有17人回复
不自信的我已经有5人回复
磺酰氟产物，毕不了业了！已经有4人回复
投稿Elsevier的杂志（返修），总是在选择OA和subscription界面被踢皮球已经有8人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

求助：磁控溅射镀金属膜，镀不上去已经有4人回复
请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？已经有22人回复
直流磁控溅射镀膜总是被氧化已经有42人回复
电子束光刻磁控溅射金属剥离问题已经有9人回复
【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题已经有4人回复
【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源已经有21人回复
【请教】如何检测磁控溅射所镀的表面的纳米金属铁已经有4人回复
【求助】求助：磁控溅射问题已经有20人回复

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴

1楼 2010-12-30 09:42:50

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

god1999

金虫 (小有名气)

应助: 4 (幼儿园)
金币: 1052.2
帖子: 131
在线: 110.2小时
虫号: 1688105

★
lknife(金币+1): 谢谢参与

溅射电压过大或者工作气压过低吧。

赞一下(1人)

回复此楼

12楼2013-01-29 10:49:49

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 24 个回答

lknife

银虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 361.9
帖子: 98
在线: 61.8小时
虫号: 1110689

引用回帖:

Originally posted by lknife at 2010-12-30 09:42:50:
请教磁控溅射金属膜问题：

我用中频磁控溅射镀铝和铜，请问为什么镜面效果不好，表面不光洁呢？铝表面呈颗粒状，似乎不致密，但从断面看还是比较致密的，只是呈柱状生长，有些凸起于表面形成了颗粒，我是在 ...

刚才断面没传上去，这一张为载玻片上镀铜，再镀铝的断面
btw:原来图片格式中.jpg和.JPG是不一样的啊？论坛不认.JPG

[ Last edited by lknife on 2010-12-30 at 09:49 ]

赞一下(1人)

回复此楼

2楼2010-12-30 09:44:35

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖