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lknife

银虫 (小有名气)

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[交流] 【求助】请教磁控溅射金属膜问题

请教磁控溅射金属膜问题：

我用中频磁控溅射镀铝和铜，请问为什么镜面效果不好，表面不光洁呢？铝表面呈颗粒状，似乎不致密，但从断面看还是比较致密的，只是呈柱状生长，有些凸起于表面形成了颗粒，我是在常温溅射沉积，溅射电压大概在600V~700V，气压在0.3~0.4Pa，衬底没有加偏压

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1楼 2010-12-30 09:42:50

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xsz2013

铜虫 (小有名气)

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★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

引用回帖:

10楼: Originally posted by leongoall at 2012-04-29 02:09:36
我觉得楼主用的射频功率可能过大，对于Al和Cu这种导电性很好的金属，首选当然是直流，但是楼主又说没有直流靶。但600-700V的中频自偏压对Al或者Cu个人感觉太高，楼主可尝试适当降低功率或降低溅射压强，减小薄膜生长 ...

楼主的气压在0.3~0.4Pa,溅射的压强已经很低了吧，我一般溅射在0.3到0.5Pa，还应该降低溅射压强？请问您溅射的压强有多大，压强多大程度上影响薄膜的厚度与形貌呢

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21楼2015-03-26 10:15:42

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lknife

银虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
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虫号: 1110689

引用回帖:

Originally posted by lknife at 2010-12-30 09:42:50:
请教磁控溅射金属膜问题：

我用中频磁控溅射镀铝和铜，请问为什么镜面效果不好，表面不光洁呢？铝表面呈颗粒状，似乎不致密，但从断面看还是比较致密的，只是呈柱状生长，有些凸起于表面形成了颗粒，我是在 ...

刚才断面没传上去，这一张为载玻片上镀铜，再镀铝的断面
btw:原来图片格式中.jpg和.JPG是不一样的啊？论坛不认.JPG

[ Last edited by lknife on 2010-12-30 at 09:49 ]

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2楼2010-12-30 09:44:35

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