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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
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lknife

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请教磁控溅射金属膜问题

请教磁控溅射金属膜问题：

    我用中频磁控溅射镀铝和铜，请问为什么镜面效果不好，表面不光洁呢？铝表面呈颗粒状，似乎不致密，但从断面看还是比较致密的，只是呈柱状生长，有些凸起于表面形成了颗粒，我是在常温溅射沉积，溅射电压大概在600V~700V，气压在0.3~0.4Pa，衬底没有加偏压
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1楼2010-12-30 09:42:50
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minglight9

铁杆木虫 (著名写手)
★
lknife(金币+1): 谢谢参与
个人感觉，如果本底真空度不够的话，有可能影响表面的颗粒平整度，还有就是会不会存在功率上的问题？低压气氛溅射条件下，你们用的功率密度是多少？？
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9楼2012-03-30 02:15:01
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lknife

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by lknife at 2010-12-30 09:42:50:
请教磁控溅射金属膜问题：

    我用中频磁控溅射镀铝和铜，请问为什么镜面效果不好，表面不光洁呢？铝表面呈颗粒状，似乎不致密，但从断面看还是比较致密的，只是呈柱状生长，有些凸起于表面形成了颗粒，我是在 ...

刚才断面没传上去，这一张为载玻片上镀铜，再镀铝的断面
   btw:原来图片格式中.jpg和.JPG是不一样的啊？论坛不认.JPG


[ Last edited by lknife on 2010-12-30 at 09:49 ]
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2楼2010-12-30 09:44:35
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lknife

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 睁不开眼的狼 at 2010-12-30 19:48:09:
什么气氛？

纯Ar气环境
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4楼2010-12-31 08:53:52
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deler

铁杆木虫 (小有名气)
★
lknife(金币+1):谢谢参与
金属膜为什么用射频溅射呢？用直流溅射不就行了？
楼主取截面使用液氮冷却后敲碎的？

[ Last edited by deler on 2010-12-31 at 12:06 ]
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5楼2010-12-31 12:03:17
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