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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】求助：磁控溅射问题
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梦断神伤

金虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
化学小工(金币+1):鼓励交流 2010-05-26 22:21:04
2mm并不算厚啊，国内很多的磁控溅射设备都是沈科仪生产的，一般3mm厚以下都OK，有没有测过靶材的电导率呢？
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11楼2010-05-26 15:19:54
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zhongaihua

新虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
化学小工(金币+1):鼓励交流 2010-12-08 23:03:37
引用回帖:
Originally posted by futurelife at 2010-05-26 10:18:23:
呵呵，谢谢大家回复！刚开始的时候，我也初步认定是Ni靶被氧化的事，因为每次试完就发现Ni靶除了被Ar离子溅射的那部分环外，其余地方都成焦黄色，测了一下成分，焦黄部分含氧，电阻也相对较大，可能就是这层氧化物 ...

你的靶材这么薄！我用的是5mm的
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12楼2010-12-08 19:08:39
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sea88sky

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
可以量量靶表面的磁场强度，看是不是被屏蔽了。
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13楼2011-10-17 17:00:47
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Maxthonhua

新虫 (正式写手)
★
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引用回帖:
13楼: Originally posted by sea88sky at 2011-10-17 17:00:47:
可以量量靶表面的磁场强度，看是不是被屏蔽了。

请问如何量磁场强度呢
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14楼2011-11-14 22:27:40
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sea88sky

新虫 (初入文坛)
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zhangquan8385: 回帖置顶 2012-01-13 16:48:08
zhangquan8385(金币+1): 鼓励 2012-01-13 16:55:33
用高斯计，专门测量磁场强度的仪器
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15楼2011-11-17 11:55:46
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谢威

铁虫 (初入文坛)
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zhangquan8385(金币+1): 鼓励 2012-01-13 16:48:22
zhangquan8385: 回帖置顶 2012-01-13 16:48:23
以后直接用射频就好了，射频不会出现此类问题的
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16楼2012-01-13 15:38:09
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sxjsn1

金虫 (小有名气)

veni vedi veci
★
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送鲜花一朵
引用回帖:
976992楼: Originally posted by futurelife at 2010-05-18 13:29:18
今天在我用磁控溅射直流溅射Ni靶的时候发现靶材能起辉，但电流电压加到一定值时就加不上去了，而且同一电流下，电压要比以前大很多，请问问题主要出在哪了？非常感谢

您好，请教一个问题。 您在做磁控溅射的时候，溅射完腔室内充气充的是空气还是氮气？
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夜半酒醒人去后，更持红烛赏残花
17楼2012-08-19 16:50:58
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爱问爱问123

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
Ni靶有磁性，你们的是NSN型的磁体？我们这里做镍的由于有磁性把弧光压倒靶下，无法起弧。
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18楼2013-05-09 18:00:38
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looor

木虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by futurelife at 2010-05-26 10:18:23
呵呵，谢谢大家回复！刚开始的时候，我也初步认定是Ni靶被氧化的事，因为每次试完就发现Ni靶除了被Ar离子溅射的那部分环外，其余地方都成焦黄色，测了一下成分，焦黄部分含氧，电阻也相对较大，可能就是这层氧化物导 ...

那你再用一个新的Ni靶试试啊
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安心工作
19楼2013-07-09 15:09:54
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唐兵唐兵

银虫 (小有名气)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
tjcdp: 金币+1, 奖励新虫 2013-07-16 07:20:43
应保持底座稳定，最好不要震荡。当电压变大，说明靶材含有不导电的东西/或者含杂质。。。
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没有成功的理由
20楼2013-07-16 00:39:46
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