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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】求助：磁控溅射问题
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futurelife

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】求助：磁控溅射问题 已有17人参与

今天在我用磁控溅射直流溅射Ni靶的时候发现靶材能起辉，但电流电压加到一定值时就加不上去了，而且同一电流下，电压要比以前大很多，请问问题主要出在哪了？非常感谢
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sxjsn1

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1楼 2010-05-18 13:29:18
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谢威

铁虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
zhangquan8385(金币+1): 鼓励 2012-01-13 16:48:22
zhangquan8385: 回帖置顶 2012-01-13 16:48:23
以后直接用射频就好了，射频不会出现此类问题的
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16楼2012-01-13 15:38:09
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dxlg

金虫 (小有名气)

ddf
我正在学习射频磁控溅射镀膜，好多问题还在摸索中，有经验的同仁把你们的经验分享一下，多谢！
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ddff
2楼2010-05-18 16:56:15
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jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
csuhcb2000(金币+1):感谢交流，常来啊！ 2010-05-19 08:18:34
电压变大，说明靶材表面由不导电的东西。把电流调低一下，不就电压会自动下来。直流溅射，电压一般都会变化的。不好控制。我是算电流电压乘积的。
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3楼2010-05-18 20:16:17
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futurelife

银虫 (小有名气)
★
csuhcb2000(金币+1):感谢分享经验，支持！ 2010-05-19 12:48:33
进展汇报：我将Ni 靶换成其他靶材，发现工作正常，只要再换成Ni 靶就有问题，所以初步认为是Ni 靶的原因。很有可能是Ni 靶被氧化了，下午再做分析测试去。
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4楼2010-05-19 12:42:16
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