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futurelife

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】求助:磁控溅射问题已有17人参与

今天在我用磁控溅射直流溅射Ni靶的时候发现靶材能起辉,但电流电压加到一定值时就加不上去了,而且同一电流下,电压要比以前大很多,请问问题主要出在哪了?非常感谢
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谢威

铁虫 (初入文坛)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
zhangquan8385(金币+1): 鼓励 2012-01-13 16:48:22
zhangquan8385: 回帖置顶 2012-01-13 16:48:23
以后直接用射频就好了,射频不会出现此类问题的
16楼2012-01-13 15:38:09
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