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futurelife

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】求助:磁控溅射问题 已有17人参与

今天在我用磁控溅射直流溅射Ni靶的时候发现靶材能起辉,但电流电压加到一定值时就加不上去了,而且同一电流下,电压要比以前大很多,请问问题主要出在哪了?非常感谢
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jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
csuhcb2000(金币+1):感谢交流,常来啊! 2010-05-19 08:18:34
电压变大,说明靶材表面由不导电的东西。把电流调低一下,不就电压会自动下来。直流溅射,电压一般都会变化的。不好控制。我是算电流电压乘积的。
3楼2010-05-18 20:16:17
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dxlg

金虫 (小有名气)

ddf

我正在学习射频磁控溅射镀膜,好多问题还在摸索中,有经验的同仁把你们的经验分享一下,多谢!
ddff
2楼2010-05-18 16:56:15
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futurelife

银虫 (小有名气)


csuhcb2000(金币+1):感谢分享经验,支持! 2010-05-19 12:48:33
进展汇报:我将Ni 靶换成其他靶材,发现工作正常,只要再换成Ni 靶就有问题,所以初步认为是Ni 靶的原因。很有可能是Ni 靶被氧化了,下午再做分析测试去。
4楼2010-05-19 12:42:16
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idiot891

金虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
测试好了再来汇报最新进展啊
5楼2010-05-19 15:14:18
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