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futurelife银虫 (小有名气)
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【求助】求助:磁控溅射问题 已有17人参与
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| 今天在我用磁控溅射直流溅射Ni靶的时候发现靶材能起辉,但电流电压加到一定值时就加不上去了,而且同一电流下,电压要比以前大很多,请问问题主要出在哪了?非常感谢 |
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jsszwutao
铁杆木虫 (小有名气)
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3楼2010-05-18 20:16:17

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futurelife
银虫 (小有名气)
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4楼2010-05-19 12:42:16
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