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54txtx银虫 (初入文坛)
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[交流]
【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题 已有3人参与
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本人新手，刚做实验，请教各位大牛 我做磁控溅射，溅射气体是Ar，分别溅射两种靶材A和B，现在想要搞清楚Ar对于A和B的溅射效率分别是多少。 打个不是很恰当的例子来说，当一个Ar原子打到A上时，可以打出m个A原子，而当同样一个Ar原子打到B上时，可以打出n个B原子，m和n应当不同，因为对于不同的材料溅射的效率应该不同 那么有没有什么物理量来表示这种效率差别，网上那里可以搜到具体参数？ 很迷茫，急盼各位前辈指点，先行谢过了！ |
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银虫 (初入文坛)
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5楼2011-05-25 19:01:55