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54txtx

银虫 (初入文坛)

[交流] 【请教】请教,关于Ar磁控溅射的溅射效率问题 已有3人参与

本人新手,刚做实验,请教各位大牛

我做磁控溅射,溅射气体是Ar,分别溅射两种靶材A和B,现在想要搞清楚Ar对于A和B的溅射效率分别是多少。

打个不是很恰当的例子来说,当一个Ar原子打到A上时,可以打出m个A原子,而当同样一个Ar原子打到B上时,可以打出n个B原子,m和n应当不同,因为对于不同的材料溅射的效率应该不同

那么有没有什么物理量来表示这种效率差别,网上那里可以搜到具体参数?
很迷茫,急盼各位前辈指点,先行谢过了!
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非淡泊无以明志,非宁静无以致远
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ppttcug

木虫 (小有名气)

甲虫

★ ★
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金光闪闪2010(金币+1): 欢迎交流 2011-03-28 07:39:10
从原理上来看,溅射主要由电子完成,和阳离子也就是氩气离子无关。
溅射率和电压有关,大致可以按电压*1个电子伏特*(1-热损耗比例)/单个原子蒸发能
单原子蒸发能可以用查到的每摩尔蒸发能换算  1mol eV=96.44kJ
热损耗比例随电压增加而增加,所以数万伏时溅射率会达到极限
2楼2011-03-28 00:00:16
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erty

金虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
你可以了解下溅射产额的概念哈。
3楼2011-04-06 22:25:12
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zhangxud04

铜虫 (小有名气)

★ ★
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金光闪闪2010(金币+1): 2011-04-13 17:06:13
溅射是用Ar正离子轰击,金属材料的溅射率随便找一个溅射镀膜的书上就有,不同金属周期性变化
4楼2011-04-13 15:31:03
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54txtx

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by erty at 2011-04-06 22:25:12:
你可以了解下溅射产额的概念哈。

非常感谢啊
非淡泊无以明志,非宁静无以致远
5楼2011-05-25 19:01:55
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