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[交流]
【交流】磁控溅射中如何避免mask(靶材支架和挡板）被溅射
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| 如题，我们在射频磁控溅射中，在样品中发现靶材固定架和挡板的成分（Fe,Cr），固定架是钢制品，有没有啥办法可以避免，谢谢好心人！ |
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