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20041696

银虫 (小有名气)


[交流] 【交流】磁控溅射中如何避免mask(靶材支架和挡板)被溅射

如题,我们在射频磁控溅射中,在样品中发现靶材固定架和挡板的成分(Fe,Cr),固定架是钢制品,有没有啥办法可以避免,谢谢好心人!
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mbsnow

木虫 (初入文坛)


从技术上来说很难根本解决,可以考虑将这些东西上包上锡箔纸。
8楼2011-01-14 16:46:36
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查看全部 14 个回答

diamondli99

木虫 (正式写手)


★
20041696(金币+1): 2011-01-13 21:21:34
lpszk(金币+1): 谢谢参与 2011-02-23 06:11:42
个人认为你应该想办法限制一下等离子区的范围。当然这要视具体的设备而言。
2楼2011-01-12 08:20:47
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warlover

铁杆木虫 (初入文坛)


★
20041696(金币+1): 2011-01-13 21:23:53
lpszk(金币+1): 谢谢参与 2011-02-23 06:12:01
我的磁控溅射通过改变靶材支架可以限制辉光的范围
3楼2011-01-12 15:22:22
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sailor529

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

4楼2011-01-13 09:22:26
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