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zhioking木虫 (小有名气)
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[交流]
【求助】磁控溅射靶材的磁性强弱对溅射的影响 已有3人参与
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| 以前我们的溅射台最低流量大概是6sccm左右 今天我做实验时发现1-2sccm都可以做 不知道是分子泵老化了 还是说我用的强磁性靶材的原因 知情者请赐教啊！ |
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2楼2010-06-07 17:15:20
3楼2010-06-08 09:05:19
nzhth
至尊木虫 (文坛精英)
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4楼2010-06-08 12:24:37