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直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重 已有1人参与
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开启磁控溅射直流电源时,左侧电压表显示为负值。设备使用初期电流密度约为-40A\m2左右,调节功率旋钮,可以增加到60并维持稳定工作。但近期开机后始终在-100左右跳动,很难引弧。而且操作过程中电压数值很高,约为450以上,持续5分钟左右就会自动灭弧。拆开设备后,靶材表面刻蚀严重。 (开机时)(无法引弧时)(靶材刻蚀严重) 昨天重新拆开靶材进行了检查和清理,并用万用表排除了靶材和外壳短路的可能性。 我个人判断可能是直流电源的元部件出了故障,请问应当如何维修? 另外,设备上一处接线我不是很明白: 如上图所示,左侧红框内的是控制靶材升降机构的,但是右侧红框内的接线的作用不清楚。是接地的吗? 如上图所示,接线分别是从靶材和升降电机的两个螺钉引脚处接出来的。 |
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6楼2012-03-20 16:31:34
2楼2012-03-19 09:57:53
wbcui
至尊木虫 (知名作家)
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