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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重
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漫天的飘

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重已有1人参与

开启磁控溅射直流电源时，左侧电压表显示为负值。设备使用初期电流密度约为-40A\m2左右，调节功率旋钮，可以增加到60并维持稳定工作。但近期开机后始终在-100左右跳动，很难引弧。而且操作过程中电压数值很高，约为450以上，持续5分钟左右就会自动灭弧。拆开设备后，靶材表面刻蚀严重。
（开机时）（无法引弧时）（靶材刻蚀严重）
昨天重新拆开靶材进行了检查和清理，并用万用表排除了靶材和外壳短路的可能性。
我个人判断可能是直流电源的元部件出了故障，请问应当如何维修？

另外，设备上一处接线我不是很明白：

如上图所示，左侧红框内的是控制靶材升降机构的，但是右侧红框内的接线的作用不清楚。是接地的吗？

如上图所示，接线分别是从靶材和升降电机的两个螺钉引脚处接出来的。
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1楼2012-03-16 17:07:01
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漫天的飘

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wbcui at 2012-03-19 14:38:10:
没看到图啊？
能不能录了video传上来？

不知道咋回事，图片穿不上来，我再试试，先谢谢哈!
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4楼2012-03-19 21:15:51
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漫天的飘

新虫 (初入文坛)
我自己顶一下啊，求助啊!
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2楼2012-03-19 09:57:53
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
没看到图啊？
能不能录了video传上来？
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3楼2012-03-19 14:38:10
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erty

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
wbcui: 金币+1, 多谢帮助 2012-04-12 16:47:36
打开电源，看看里面的电子器件有没有烧毁等问题，还有就是色环电阻这类很细的针脚有没有开焊什么的，不知道这个是不是你直流电源里的。
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5楼2012-03-20 10:28:01
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