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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
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石英姿

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银

我分别用直流磁控溅射和射频磁控溅射的方法镀银膜，但是薄膜的颜色不一样，直流磁控溅射镀出来的是银白的，射频镀出来的是发黑的（可以排除被氧化的可能）这是为什么呀，跪求高手帮忙
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1楼 2012-05-21 10:22:15
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

henryfrank

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2012-10-27 15:49:31
其实不能排除被氧化的可能，Ag一般不容易氧化，但是在射频条件下很容易氧化，曾经做过Au和Pt的实验，在氧分压下用射频电源比用直流电源容易氧化，对于你的实验，可能是真空不好，或者chamber漏气（微漏）而导致的氧化，也有可能是靶上有其他的材料（之前用这个靶头装过别的靶材），所以换靶时要认真的清理靶罩，建议你还是用直流做这种导电的材料。
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石英姿
潜心科研
4楼2012-05-22 01:08:29
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普通回帖

empty7458

银虫 (初入文坛)
射频用不同的功率试试呢？
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2楼2012-05-21 11:18:30
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石英姿

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by empty7458 at 2012-05-21 11:18:30:
射频用不同的功率试试呢？

试了，从10W到30W都试了，还是不行
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3楼2012-05-21 13:28:23
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+2, 3q 2012-10-27 15:50:01
颜色不一样很正常啊，厚度不一样颜色不就不一样了，两种电源你应该是不能保证其厚度完全相同的，想想等厚干涉就知道了，颜色不一样很正常，不用担心！
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
5楼2012-05-23 03:43:30
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spyan581

木虫 (著名写手)

欣星赏月
做XPS测试Ag的化学状态，看其化合了没有。
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与君共学共进
6楼2012-05-23 09:28:11
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郭立强

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
除了直流和射频更换,其他生长参数变了吗?如果没有给出参数,尤其是温度
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7楼2012-05-23 11:30:38
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郭立强

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

直流溅射出来的是银白而射频溅射出来的是黑色,对比起来可以排除漏气的可能,你把参数给我来分析一下
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8楼2012-05-23 11:31:59
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石英姿

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 郭立强 at 2012-05-23 11:31:59
直流溅射出来的是银白而射频溅射出来的是黑色,对比起来可以排除漏气的可能,你把参数给我来分析一下

非常感谢，直流溅射压强0.5pa,电压300V电流0.02A。射频功率20W压强2pa.
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9楼2012-06-07 12:13:14
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石英姿

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by leongoall at 2012-05-23 03:43:30
颜色不一样很正常啊，厚度不一样颜色不就不一样了，两种电源你应该是不能保证其厚度完全相同的，想想等厚干涉就知道了，颜色不一样很正常，不用担心！

非常感谢。不好意思回复晚了
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10楼2012-06-07 12:14:16
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