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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
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石英姿

新虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by henryfrank at 2012-05-22 01:08:29
其实不能排除被氧化的可能，Ag一般不容易氧化，但是在射频条件下很容易氧化，曾经做过Au和Pt的实验，在氧分压下用射频电源比用直流电源容易氧化，对于你的实验，可能是真空不好，或者chamber漏气（微漏）而导致的氧 ...

嗯，非常感谢，现在我就在用直流做
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11楼2012-06-07 12:15:37
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lilinghua070

新虫 (初入文坛)
你的工艺是多少？我也是做这方面的工作
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12楼2012-10-26 09:09:36
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wuzhaofeng

金虫 (正式写手)
请问楼主射频镀银的速率大概是多少？
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13楼2012-12-25 15:13:21
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xsz2013

铜虫 (小有名气)
直流溅射压强0.5pa,电压300V电流0.02A，你这个功率是不是太小了，你这样设置参数有什么依据吗？请问您弄清楚颜色不对劲的原因了吗？谢谢了，我现在也因为这个问题痛苦不已，求指教
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14楼2015-04-16 15:11:08
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爱哭的小孩

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by henryfrank at 2012-05-22 01:08:29
其实不能排除被氧化的可能，Ag一般不容易氧化，但是在射频条件下很容易氧化，曾经做过Au和Pt的实验，在氧分压下用射频电源比用直流电源容易氧化，对于你的实验，可能是真空不好，或者chamber漏气（微漏）而导致的氧 ...

请问：直流电源做Ag靶材，调节功率时有电压没有电流，不能起辉，后来我把换成射频电源起辉正常这是怎么回事啊？谢谢！
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15楼2016-03-09 17:09:55
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tiancow

新虫 (初入文坛)
射频溅射时电流瞬间大就会造成银膜发黑。直流溅射时如果电流够大的话也会发黑的。
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16楼2018-05-04 10:43:16
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