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石英姿

新虫 (初入文坛)

送鲜花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by henryfrank at 2012-05-22 01:08:29
其实不能排除被氧化的可能,Ag一般不容易氧化,但是在射频条件下很容易氧化,曾经做过Au和Pt的实验,在氧分压下用射频电源比用直流电源容易氧化,对于你的实验,可能是真空不好,或者chamber漏气(微漏)而导致的氧 ...

嗯,非常感谢,现在我就在用直流做
11楼2012-06-07 12:15:37
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lilinghua070

新虫 (初入文坛)

你的工艺是多少?我也是做这方面的工作
12楼2012-10-26 09:09:36
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wuzhaofeng

金虫 (正式写手)

请问楼主射频镀银的速率大概是多少?
13楼2012-12-25 15:13:21
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xsz2013

铜虫 (小有名气)

直流溅射压强0.5pa,电压300V电流0.02A,你这个功率是不是太小了,你这样设置参数有什么依据吗?请问您弄清楚颜色不对劲的原因了吗?谢谢了,我现在也因为这个问题痛苦不已,求指教
14楼2015-04-16 15:11:08
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爱哭的小孩

木虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by henryfrank at 2012-05-22 01:08:29
其实不能排除被氧化的可能,Ag一般不容易氧化,但是在射频条件下很容易氧化,曾经做过Au和Pt的实验,在氧分压下用射频电源比用直流电源容易氧化,对于你的实验,可能是真空不好,或者chamber漏气(微漏)而导致的氧 ...

请问:直流电源做Ag靶材,调节功率时有电压没有电流,不能起辉,后来我把换成射频电源起辉正常这是怎么回事啊?谢谢!
15楼2016-03-09 17:09:55
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tiancow

新虫 (初入文坛)

射频溅射时电流瞬间大就会造成银膜发黑。直流溅射时如果电流够大的话也会发黑的。
16楼2018-05-04 10:43:16
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