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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
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石英姿

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银

我分别用直流磁控溅射和射频磁控溅射的方法镀银膜，但是薄膜的颜色不一样，直流磁控溅射镀出来的是银白的，射频镀出来的是发黑的（可以排除被氧化的可能）这是为什么呀，跪求高手帮忙
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1楼 2012-05-21 10:22:15
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xsz2013

铜虫 (小有名气)
直流溅射压强0.5pa,电压300V电流0.02A，你这个功率是不是太小了，你这样设置参数有什么依据吗？请问您弄清楚颜色不对劲的原因了吗？谢谢了，我现在也因为这个问题痛苦不已，求指教
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14楼2015-04-16 15:11:08
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empty7458

银虫 (初入文坛)
射频用不同的功率试试呢？
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2楼2012-05-21 11:18:30
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石英姿

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by empty7458 at 2012-05-21 11:18:30:
射频用不同的功率试试呢？

试了，从10W到30W都试了，还是不行
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3楼2012-05-21 13:28:23
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henryfrank

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2012-10-27 15:49:31
其实不能排除被氧化的可能，Ag一般不容易氧化，但是在射频条件下很容易氧化，曾经做过Au和Pt的实验，在氧分压下用射频电源比用直流电源容易氧化，对于你的实验，可能是真空不好，或者chamber漏气（微漏）而导致的氧化，也有可能是靶上有其他的材料（之前用这个靶头装过别的靶材），所以换靶时要认真的清理靶罩，建议你还是用直流做这种导电的材料。
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石英姿
潜心科研
4楼2012-05-22 01:08:29
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