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石英姿

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银

我分别用直流磁控溅射和射频磁控溅射的方法镀银膜,但是薄膜的颜色不一样,直流磁控溅射镀出来的是银白的,射频镀出来的是发黑的(可以排除被氧化的可能)这是为什么呀,跪求高手帮忙
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郭立强

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
除了直流和射频更换,其他生长参数变了吗?如果没有给出参数,尤其是温度
7楼2012-05-23 11:30:38
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empty7458

银虫 (初入文坛)

射频用不同的功率试试呢?
2楼2012-05-21 11:18:30
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石英姿

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by empty7458 at 2012-05-21 11:18:30:
射频用不同的功率试试呢?

试了,从10W到30W都试了,还是不行
3楼2012-05-21 13:28:23
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henryfrank

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2012-10-27 15:49:31
其实不能排除被氧化的可能,Ag一般不容易氧化,但是在射频条件下很容易氧化,曾经做过Au和Pt的实验,在氧分压下用射频电源比用直流电源容易氧化,对于你的实验,可能是真空不好,或者chamber漏气(微漏)而导致的氧化,也有可能是靶上有其他的材料(之前用这个靶头装过别的靶材),所以换靶时要认真的清理靶罩,建议你还是用直流做这种导电的材料。

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潜心科研
4楼2012-05-22 01:08:29
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