24小时热门版块排行榜    

查看: 3133  |  回复: 15
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

石英姿

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银

我分别用直流磁控溅射和射频磁控溅射的方法镀银膜,但是薄膜的颜色不一样,直流磁控溅射镀出来的是银白的,射频镀出来的是发黑的(可以排除被氧化的可能)这是为什么呀,跪求高手帮忙
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

郭立强

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

直流溅射出来的是银白而射频溅射出来的是黑色,对比起来可以排除漏气的可能,你把参数给我来分析一下
8楼2012-05-23 11:31:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答

empty7458

银虫 (初入文坛)

射频用不同的功率试试呢?
2楼2012-05-21 11:18:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

石英姿

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by empty7458 at 2012-05-21 11:18:30:
射频用不同的功率试试呢?

试了,从10W到30W都试了,还是不行
3楼2012-05-21 13:28:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

henryfrank

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2012-10-27 15:49:31
其实不能排除被氧化的可能,Ag一般不容易氧化,但是在射频条件下很容易氧化,曾经做过Au和Pt的实验,在氧分压下用射频电源比用直流电源容易氧化,对于你的实验,可能是真空不好,或者chamber漏气(微漏)而导致的氧化,也有可能是靶上有其他的材料(之前用这个靶头装过别的靶材),所以换靶时要认真的清理靶罩,建议你还是用直流做这种导电的材料。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

潜心科研
4楼2012-05-22 01:08:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 286求调剂 +10 Faune 2026-03-21 10/500 2026-03-21 23:34 by 314126402
[考研] 资源与环境 调剂申请(333分) +5 holy J 2026-03-21 5/250 2026-03-21 22:42 by Catalysis25
[考研] 302求调剂 +12 呼呼呼。。。。 2026-03-17 12/600 2026-03-21 17:29 by ColorlessPI
[考研] 277材料科学与工程080500求调剂 +6 自由煎饼果子 2026-03-16 6/300 2026-03-21 17:21 by 学员8dgXkO
[考研] 298求调剂 +4 上岸6666@ 2026-03-20 4/200 2026-03-21 17:14 by 学员8dgXkO
[考研] 生物学一志愿985,分数349求调剂 +3 zxts12 2026-03-21 3/150 2026-03-21 16:34 by 33来了真来了
[考研] 299求调剂 +4 某某某某位 2026-03-21 4/200 2026-03-21 16:30 by barlinike
[考研] 279分求调剂 一志愿211 +14 chaojifeixia 2026-03-19 15/750 2026-03-21 13:24 by zhukairuo
[考研] 考研调剂求学校推荐 +3 伯乐29 2026-03-18 5/250 2026-03-20 22:59 by JourneyLucky
[考研] 0817 化学工程 299分求调剂 有科研经历 有二区文章 +22 rare12345 2026-03-18 22/1100 2026-03-20 20:39 by zhukairuo
[考研] 260求调剂 +3 朱芷琳 2026-03-20 3/150 2026-03-20 20:35 by 学员8dgXkO
[考研] 一志愿吉林大学材料学硕321求调剂 +11 Ymlll 2026-03-18 15/750 2026-03-20 19:40 by 丁丁*
[考研] 求调剂 +3 暗涌afhb 2026-03-16 3/150 2026-03-20 00:28 by 河南大学校友
[考研] 328求调剂,英语六级551,有科研经历 +4 生物工程调剂 2026-03-16 12/600 2026-03-19 11:10 by 生物工程调剂
[考研] 有没有道铁/土木的想调剂南林,给自己招师弟中~ +3 TqlXswl 2026-03-16 7/350 2026-03-17 15:23 by TqlXswl
[考研] 一志愿南京大学,080500材料科学与工程,调剂 +4 Jy? 2026-03-16 4/200 2026-03-17 11:02 by gaoqiong
[考研] 283求调剂 +3 听风就是雨; 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:41 by 热情沙漠
[考研] 机械专硕325,寻找调剂院校 +3 y9999 2026-03-15 5/250 2026-03-16 19:58 by y9999
[考研] 070300化学学硕求调剂 +6 太想进步了0608 2026-03-16 6/300 2026-03-16 16:13 by kykm678
[考研] 中科院材料273求调剂 +4 yzydy 2026-03-15 4/200 2026-03-16 15:59 by Gaodh_82
信息提示
请填处理意见