24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 3200  |  回复: 15
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

石英姿

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银

我分别用直流磁控溅射和射频磁控溅射的方法镀银膜,但是薄膜的颜色不一样,直流磁控溅射镀出来的是银白的,射频镀出来的是发黑的(可以排除被氧化的可能)这是为什么呀,跪求高手帮忙
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

石英姿

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 郭立强 at 2012-05-23 11:31:59
直流溅射出来的是银白而射频溅射出来的是黑色,对比起来可以排除漏气的可能,你把参数给我来分析一下

非常感谢,直流溅射压强0.5pa,电压300V电流0.02A。射频功率20W压强2pa.
9楼2012-06-07 12:13:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答

empty7458

银虫 (初入文坛)

射频用不同的功率试试呢?
2楼2012-05-21 11:18:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

石英姿

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by empty7458 at 2012-05-21 11:18:30:
射频用不同的功率试试呢?

试了,从10W到30W都试了,还是不行
3楼2012-05-21 13:28:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

henryfrank

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2012-10-27 15:49:31
其实不能排除被氧化的可能,Ag一般不容易氧化,但是在射频条件下很容易氧化,曾经做过Au和Pt的实验,在氧分压下用射频电源比用直流电源容易氧化,对于你的实验,可能是真空不好,或者chamber漏气(微漏)而导致的氧化,也有可能是靶上有其他的材料(之前用这个靶头装过别的靶材),所以换靶时要认真的清理靶罩,建议你还是用直流做这种导电的材料。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

潜心科研
4楼2012-05-22 01:08:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 博士自荐 +3 可可小胖 2026-04-08 3/150 2026-04-09 11:25 by juanzi_88
[考研] 一志愿西南大学生物学学硕344 求生物学相关调剂/生物与医药 +7 超人不会飞@ 2026-04-08 7/350 2026-04-09 09:35 by gong120082
[考研] 286求调剂 +19 Faune 2026-04-08 20/1000 2026-04-09 08:36 by 哦哦123
[考研] 机械专硕273请求调剂 +6 庚申壬申 2026-04-07 6/300 2026-04-08 22:41 by bljnqdcc
[考研] 材料专硕(0856) 339分求调剂 +16 哈哈哈鹅哈哈哈 2026-04-05 16/800 2026-04-08 16:02 by luoyongfeng
[考研] 本科生物信息学,总分362 求07 08调剂 +6 q小倩1210 2026-04-06 6/300 2026-04-07 19:40 by macy2011
[考研] 301求调剂 +18 121. 2026-04-04 18/900 2026-04-07 17:49 by 蓝云思雨
[考研] 316求调剂 +7 yyx想调剂 2026-04-05 7/350 2026-04-07 14:31 by shdgaomin
[考研] 工科 22408 267求推荐 +4 wanwan00 2026-04-05 5/250 2026-04-06 22:47 by chenzhimin
[考研] 287分求调剂 有专利国奖一志愿哈工大085406 +6 白易辰 2026-04-06 7/350 2026-04-06 22:46 by 875465
[考研] 求调剂 +10 Hll胡 2026-04-04 10/500 2026-04-05 20:09 by nepu_uu
[考研] 0854求调剂 +4 assdll 2026-04-04 4/200 2026-04-05 09:44 by zhq0425
[考研] 考研调剂 +11 小sun要好运 2026-04-04 11/550 2026-04-05 08:02 by qlm5820
[考研] 可跨专业调剂 +3 周的得地 2026-04-04 6/300 2026-04-04 22:21 by barlinike
[考研] 333求调剂 +12 wfh030413@ 2026-04-03 13/650 2026-04-04 21:02 by jj987
[考研] 277求调剂 +4 12A3 2026-04-02 5/250 2026-04-04 20:28 by 蓝云思雨
[考研] 材料383求调剂 +5 郭阳阳阳成 2026-04-04 5/250 2026-04-04 19:06 by dongzh2009
[考研] 266求调剂 +8 学员97LZgn 2026-04-03 8/400 2026-04-04 09:02 by 20021109
[考研] 366求调剂 +7 sbdnd 2026-04-03 7/350 2026-04-03 12:40 by cymywx
[考研] 312求调剂 +4 赊月色 2026-04-02 5/250 2026-04-03 08:21 by fangshan711
信息提示
请填处理意见