24小时热门版块排行榜    

查看: 3438  |  回复: 15
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

石英姿

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银

我分别用直流磁控溅射和射频磁控溅射的方法镀银膜,但是薄膜的颜色不一样,直流磁控溅射镀出来的是银白的,射频镀出来的是发黑的(可以排除被氧化的可能)这是为什么呀,跪求高手帮忙
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+2, 3q 2012-10-27 15:50:01
颜色不一样很正常啊,厚度不一样颜色不就不一样了,两种电源你应该是不能保证其厚度完全相同的,想想等厚干涉就知道了,颜色不一样很正常,不用担心!
趁年轻,多折腾!曾年轻,折腾过?!
5楼2012-05-23 03:43:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答

empty7458

银虫 (初入文坛)

射频用不同的功率试试呢?
2楼2012-05-21 11:18:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

石英姿

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by empty7458 at 2012-05-21 11:18:30:
射频用不同的功率试试呢?

试了,从10W到30W都试了,还是不行
3楼2012-05-21 13:28:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

henryfrank

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2012-10-27 15:49:31
其实不能排除被氧化的可能,Ag一般不容易氧化,但是在射频条件下很容易氧化,曾经做过Au和Pt的实验,在氧分压下用射频电源比用直流电源容易氧化,对于你的实验,可能是真空不好,或者chamber漏气(微漏)而导致的氧化,也有可能是靶上有其他的材料(之前用这个靶头装过别的靶材),所以换靶时要认真的清理靶罩,建议你还是用直流做这种导电的材料。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

潜心科研
4楼2012-05-22 01:08:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 看来今天不会放榜了? +6 chengyan1220 2026-08-21 6/300 2026-08-21 14:47 by 20120902066
[基金申请] 人气不行了 +7 fansofjerry 2026-08-21 7/350 2026-08-21 14:13 by Vivilian
[基金申请] 今日不放榜?网传国自然预计 8 月 27 日可查结果 +15 医学老男孩 2026-08-20 18/900 2026-08-21 13:46 by 医学老男孩
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +7 angus9576 2026-08-17 12/600 2026-08-21 13:38 by weiyin
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +23 yaoyewhu2008 2026-08-20 25/1250 2026-08-21 12:19 by Poppy1104
[基金申请] 什么时候开奖? +7 CrisMessi 2026-08-18 7/350 2026-08-21 12:15 by weiyin
[基金申请] 时间戳又变了 +12 wuchongjun 2026-08-20 18/900 2026-08-21 11:53 by wuchongjun
[基金申请] 时间戳又变了8-15 +15 archvillain 2026-08-15 27/1350 2026-08-21 11:32 by tim76
[基金申请] 今天基金会出结果吗?20260819 +15 kkkl_v 2026-08-19 16/800 2026-08-21 11:22 by 365372687
[基金申请] 科研孤儿太难了 +15 我4大白菜 2026-08-20 16/800 2026-08-21 11:07 by yming1319
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 时间戳今天,20号变了 +4 archvillain 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:10 by gatelove
[基金申请] filecode,4个jtjc了 +11 ziyangfang 2026-08-19 13/650 2026-08-19 21:28 by aasahr
[基金申请] 今天放榜吗? +14 布布和一二 2026-08-19 15/750 2026-08-19 18:07 by gltch
[基金申请] 2027广东省杰青 +4 奶牛小黑 2026-08-15 10/500 2026-08-19 11:02 by wanfengnew
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 快农历七夕节了,轻松一下,男人悄悄话,女施主请不要进来。 +6 Tide man 2026-08-14 7/350 2026-08-19 09:56 by ZJTJZ
[基金申请] 明天放榜? +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +4 且听虎啸 2026-08-17 5/250 2026-08-18 00:49 by 蔡棒棒菂
[精细化工] 招聘 金属平磨液,抛光液研发工程师 +3 小天0311 2026-08-14 3/150 2026-08-16 07:31 by H9PLUS
信息提示
请填处理意见