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freeren896

木虫 (小有名气)


[交流] 【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源

请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
金属溅射不是用直流吗,射频不是氧化物才用吗?
是不是用射频镀金属膜比用直流好呀?
谢谢
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freeren896(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
17楼: Originally posted by sxsynr at 2013-04-12 14:06:35
射频:可以实现薄膜应力的控制

一家之言还是文献里的结论?可不敢这么轻易下结论!
18楼2013-04-12 14:32:12
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引用回帖:
16楼: Originally posted by Maxthonhua at 2011-11-14 22:19:08
磁性材料用射频容易起辉

貌似不一定吧!
19楼2013-04-12 14:32:44
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