应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
221/1返回列表
查看: 5242  |  回复: 21
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

freeren896

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源

请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
金属溅射不是用直流吗，射频不是氧化物才用吗？
是不是用射频镀金属膜比用直流好呀？
谢谢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2011-03-15 22:03:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

Maxthonhua

新虫 (正式写手)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
磁性材料用射频容易起辉
赞一下(2人) 回复此楼
16楼2011-11-14 22:19:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

lulinsmann

木虫 (著名写手)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
freeren896(金币+1): 2011-03-16 12:58:25
没有谁规定金属必须用直流吧？倒是绝缘体必须用射频。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2011-03-15 22:18:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

211985:mad:

木虫 (著名写手)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
直流容易将小舟烧坏
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2011-03-15 23:53:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jjwl_rscn

金虫 (正式写手)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
金币送我的？？
回复此楼
5楼2011-03-19 16:19:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fxiyue

铁杆木虫 (著名写手)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
想看一下
回复此楼
6楼2011-03-19 16:28:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

农家仔

铜虫 (小有名气)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
射频的溅射效率好像更低一些，在生长薄的膜时容易控制一点点，其它的原因俺就不懂了
赞一下(1人) 回复此楼
9楼2011-03-21 10:30:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

songxiao111

新虫 (初入文坛)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
1、因为射频使用的是13.5MHz的射频电源，溅射材料的种类较多，涉及到金属及非金属和各类氧化物。
2、射频溅射的速率一般而言较直流溅射速率低，且有功率匹配，更容易精确控制生长过程，科研制模选择射频较好，工业制金属膜直流较好。
赞一下(2人) 回复此楼
10楼2011-06-10 15:18:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kebaoyuan

禁言 (小有名气)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
本帖内容被屏蔽
12楼2011-06-14 08:50:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lukeronger

金虫 (小有名气)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
学习了
回复此楼
13楼2011-06-22 17:13:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

greenhaw

金虫 (初入文坛)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
DC容易产生arc，制备膜层速率相对RF偏快，RF制备金属膜层速率较慢，膜层致密。
赞一下(1人) 回复此楼
14楼2011-06-25 13:43:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sxsynr

铁虫 (小有名气)
★
freeren896(金币+1): 谢谢参与
射频：可以实现薄膜应力的控制
赞一下 回复此楼
17楼2013-04-12 14:06:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)
★
freeren896(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
17楼: Originally posted by sxsynr at 2013-04-12 14:06:35
射频：可以实现薄膜应力的控制

一家之言还是文献里的结论？可不敢这么轻易下结论！
赞一下 回复此楼
18楼2013-04-12 14:32:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)
引用回帖:
16楼: Originally posted by Maxthonhua at 2011-11-14 22:19:08
磁性材料用射频容易起辉

貌似不一定吧！
回复此楼
19楼2013-04-12 14:32:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tonylei1990

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们溅射金属一直射频源，直流坏了
赞一下 回复此楼
20楼2013-12-09 17:11:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

遮天绿叶

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
直流和射频都用过，感觉直流溅射速率先对高一些，绝缘的必须要用射频
赞一下 回复此楼
22楼2013-12-09 23:50:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
paulpaulzj4楼
2011-03-16 00:05   回复  
freeren896(金币+1):谢谢参与
mooncakeaa7楼
2011-03-20 07:34   回复  
freeren896(金币+1):谢谢参与
yuhongquan78088楼
2011-03-20 08:33   回复  
freeren896(金币+1):谢谢参与
parklyn11楼
2011-06-12 14:07   回复  
freeren896(金币+1):谢谢参与
引用回帖:
Originally posted by songxiao111 at 2011-06-10 15:18:21: 1、因为射频使用的是13.5MHz的射频电源，溅射材料的种类较多，涉及到金属及非金属和各类氧化物。 2、射频溅射的速率一般而言较直流溅射速率低，且有功率匹配，更容易精确控制生长过程，科研制模选择射频较好，工 ...

daijiash15楼
2011-06-26 09:46   回复  
freeren896(金币+1):谢谢参与
peterflyer21楼
2013-12-09 22:56   回复  
相关版块跳转 我要订阅楼主 freeren896 的主题更新
221/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 环境工程 085701，267求调剂 +9 minht 2026-03-29 9/450 2026-03-31 07:48 by jp9609
[考研] 293分求调剂，外语为俄语 +4 加一一九 2026-03-31 4/200 2026-03-31 07:35 by jp9609
[考研] 304材料求调剂 +5 钟llll 2026-03-26 5/250 2026-03-30 19:37 by 源_2020
[考研] 322求调剂：一志愿湖南大学 材料与化工（085600），已过六级。 +9 XX小邓 2026-03-29 9/450 2026-03-30 17:18 by limeifeng
[考研] 284求调剂 +14 junqihahaha 2026-03-26 15/750 2026-03-30 14:12 by 探123
[考研] 085701求调剂初试286分 +5 secret0328 2026-03-28 5/250 2026-03-30 12:54 by fangnagu
[考研] 0703化学/290求调剂/本科经历丰富/工科也可 +13 丹青奶盖 2026-03-26 15/750 2026-03-30 12:35 by fangnagu
[考研] 环境科学与工程334分求调剂 +6 王一一依依 2026-03-30 8/400 2026-03-30 11:52 by yjolah
[考研] 311求调剂 +10 lin0039 2026-03-26 10/500 2026-03-30 10:26 by herarysara
[考研] 337求调剂 +6 《树》 2026-03-29 6/300 2026-03-30 10:15 by herarysara
[考研] 332求92调剂 +8 蕉蕉123 2026-03-28 8/400 2026-03-29 10:46 by 周梓丹
[考研] 0703化学调剂，求导师收 +9 天天好运来上岸� 2026-03-24 10/500 2026-03-28 22:17 by chemzp
[考研] 本科新能源科学与工程，一志愿华理能动285求调剂 +7 AZMK 2026-03-28 11/550 2026-03-28 21:01 by xxxsssccc
[考研] 0703化学求调剂，各位老师看看我！！！ +5 祁祺祺 2026-03-25 5/250 2026-03-27 21:44 by 东方猪猪
[考研] 285求调剂 +4 AZMK 2026-03-27 7/350 2026-03-27 20:59 by AZMK
[考研] 315调剂 +4 0860求调剂 2026-03-26 5/250 2026-03-27 11:23 by wangjy2002
[考研] 一志愿郑大085600，310分求调剂 +5 李潇可 2026-03-26 5/250 2026-03-27 11:14 by 不吃魚的貓
[考研] 求调剂 一志愿 本科 北科大 化学 343 +6 13831862839 2026-03-24 7/350 2026-03-26 22:57 by 不吃魚的貓
[考研] 考研一志愿苏州大学初始315（英一）求调剂 +3 sbdksD 2026-03-24 4/200 2026-03-25 18:16 by xcjcqu
[考研] 网络空间安全0839招调剂 +4 w320357296 2026-03-25 6/300 2026-03-25 17:59 by 255671
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭