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freeren896

木虫 (小有名气)


[交流] 【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源

请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
金属溅射不是用直流吗,射频不是氧化物才用吗?
是不是用射频镀金属膜比用直流好呀?
谢谢
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Maxthonhua

新虫 (正式写手)



freeren896(金币+1):谢谢参与
磁性材料用射频容易起辉
16楼2011-11-14 22:19:08
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普通回帖

lulinsmann

木虫 (著名写手)



freeren896(金币+1):谢谢参与
freeren896(金币+1): 2011-03-16 12:58:25
没有谁规定金属必须用直流吧?倒是绝缘体必须用射频。
2楼2011-03-15 22:18:27
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211985:mad:

木虫 (著名写手)



freeren896(金币+1):谢谢参与
直流容易将小舟烧坏
3楼2011-03-15 23:53:01
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jjwl_rscn

金虫 (正式写手)



freeren896(金币+1):谢谢参与
金币送我的??
5楼2011-03-19 16:19:10
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fxiyue

铁杆木虫 (著名写手)



freeren896(金币+1):谢谢参与
想看一下
6楼2011-03-19 16:28:14
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农家仔

铜虫 (小有名气)



freeren896(金币+1):谢谢参与
射频的溅射效率好像更低一些,在生长薄的膜时容易控制一点点,其它的原因俺就不懂了
9楼2011-03-21 10:30:04
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songxiao111

新虫 (初入文坛)



freeren896(金币+1):谢谢参与
1、因为射频使用的是13.5MHz的射频电源,溅射材料的种类较多,涉及到金属及非金属和各类氧化物。
2、射频溅射的速率一般而言较直流溅射速率低,且有功率匹配,更容易精确控制生长过程,科研制模选择射频较好,工业制金属膜直流较好。
10楼2011-06-10 15:18:21
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)


freeren896(金币+1):谢谢参与
本帖内容被屏蔽

12楼2011-06-14 08:50:53
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lukeronger

金虫 (小有名气)



freeren896(金币+1):谢谢参与
学习了
13楼2011-06-22 17:13:10
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greenhaw

金虫 (初入文坛)



freeren896(金币+1):谢谢参与
DC容易产生arc,制备膜层速率相对RF偏快,RF制备金属膜层速率较慢,膜层致密。
14楼2011-06-25 13:43:34
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sxsynr

铁虫 (小有名气)



freeren896(金币+1): 谢谢参与
射频:可以实现薄膜应力的控制
17楼2013-04-12 14:06:35
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freeren896(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
17楼: Originally posted by sxsynr at 2013-04-12 14:06:35
射频:可以实现薄膜应力的控制

一家之言还是文献里的结论?可不敢这么轻易下结论!
18楼2013-04-12 14:32:12
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引用回帖:
16楼: Originally posted by Maxthonhua at 2011-11-14 22:19:08
磁性材料用射频容易起辉

貌似不一定吧!
19楼2013-04-12 14:32:44
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tonylei1990

银虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我们溅射金属一直射频源,直流坏了
20楼2013-12-09 17:11:45
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遮天绿叶

银虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
直流和射频都用过,感觉直流溅射速率先对高一些,绝缘的必须要用射频
22楼2013-12-09 23:50:38
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简单回复
2011-03-16 00:05   回复  
freeren896(金币+1):谢谢参与
2011-03-20 07:34   回复  
freeren896(金币+1):谢谢参与
2011-03-20 08:33   回复  
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parklyn11楼
2011-06-12 14:07   回复  
freeren896(金币+1):谢谢参与
引用回帖:
Originally posted by songxiao111 at 2011-06-10 15:18:21: 1、因为射频使用的是13.5MHz的射频电源,溅射材料的种类较多,涉及到金属及非金属和各类氧化物。 2、射频溅射的速率一般而言较直流溅射速率低,且有功率匹配,更容易精确控制生长过程,科研制模选择射频较好,工 ...

daijiash15楼
2011-06-26 09:46   回复  
freeren896(金币+1):谢谢参与
peterflyer21楼
2013-12-09 22:56   回复  
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