应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
221/1返回列表
查看: 5624  |  回复: 21
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

freeren896

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源

请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
金属溅射不是用直流吗，射频不是氧化物才用吗？
是不是用射频镀金属膜比用直流好呀？
谢谢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2011-03-15 22:03:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

Maxthonhua

新虫 (正式写手)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
磁性材料用射频容易起辉
赞一下(2人) 回复此楼
16楼2011-11-14 22:19:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

lulinsmann

木虫 (著名写手)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
freeren896(金币+1): 2011-03-16 12:58:25
没有谁规定金属必须用直流吧？倒是绝缘体必须用射频。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2011-03-15 22:18:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

211985:mad:

木虫 (著名写手)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
直流容易将小舟烧坏
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2011-03-15 23:53:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jjwl_rscn

金虫 (正式写手)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
金币送我的？？
回复此楼
5楼2011-03-19 16:19:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fxiyue

铁杆木虫 (著名写手)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
想看一下
回复此楼
6楼2011-03-19 16:28:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

农家仔

铜虫 (小有名气)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
射频的溅射效率好像更低一些，在生长薄的膜时容易控制一点点，其它的原因俺就不懂了
赞一下(1人) 回复此楼
9楼2011-03-21 10:30:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

songxiao111

新虫 (初入文坛)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
1、因为射频使用的是13.5MHz的射频电源，溅射材料的种类较多，涉及到金属及非金属和各类氧化物。
2、射频溅射的速率一般而言较直流溅射速率低，且有功率匹配，更容易精确控制生长过程，科研制模选择射频较好，工业制金属膜直流较好。
赞一下(2人) 回复此楼
10楼2011-06-10 15:18:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kebaoyuan

禁言 (小有名气)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
本帖内容被屏蔽
12楼2011-06-14 08:50:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lukeronger

金虫 (小有名气)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
学习了
回复此楼
13楼2011-06-22 17:13:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

greenhaw

金虫 (初入文坛)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
DC容易产生arc，制备膜层速率相对RF偏快，RF制备金属膜层速率较慢，膜层致密。
赞一下(1人) 回复此楼
14楼2011-06-25 13:43:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sxsynr

铁虫 (小有名气)
★
freeren896(金币+1): 谢谢参与
射频：可以实现薄膜应力的控制
赞一下 回复此楼
17楼2013-04-12 14:06:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)
★
freeren896(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
17楼: Originally posted by sxsynr at 2013-04-12 14:06:35
射频：可以实现薄膜应力的控制

一家之言还是文献里的结论？可不敢这么轻易下结论！
赞一下 回复此楼
18楼2013-04-12 14:32:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)
引用回帖:
16楼: Originally posted by Maxthonhua at 2011-11-14 22:19:08
磁性材料用射频容易起辉

貌似不一定吧！
回复此楼
19楼2013-04-12 14:32:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tonylei1990

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们溅射金属一直射频源，直流坏了
赞一下 回复此楼
20楼2013-12-09 17:11:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

遮天绿叶

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
直流和射频都用过，感觉直流溅射速率先对高一些，绝缘的必须要用射频
赞一下 回复此楼
22楼2013-12-09 23:50:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
paulpaulzj4楼
2011-03-16 00:05   回复  
freeren896(金币+1):谢谢参与
mooncakeaa7楼
2011-03-20 07:34   回复  
freeren896(金币+1):谢谢参与
yuhongquan78088楼
2011-03-20 08:33   回复  
freeren896(金币+1):谢谢参与
parklyn11楼
2011-06-12 14:07   回复  
freeren896(金币+1):谢谢参与
引用回帖:
Originally posted by songxiao111 at 2011-06-10 15:18:21: 1、因为射频使用的是13.5MHz的射频电源，溅射材料的种类较多，涉及到金属及非金属和各类氧化物。 2、射频溅射的速率一般而言较直流溅射速率低，且有功率匹配，更容易精确控制生长过程，科研制模选择射频较好，工 ...

daijiash15楼
2011-06-26 09:46   回复  
freeren896(金币+1):谢谢参与
peterflyer21楼
2013-12-09 22:56   回复  
相关版块跳转 我要订阅楼主 freeren896 的主题更新
221/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜？ +9 Ldrop2023 2026-08-13 9/450 2026-08-16 13:24 by wukun_007
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +32 医学老男孩 2026-08-13 72/3600 2026-08-16 13:15 by 医学老男孩
[基金申请] 我的国基提前知道中了，可是同事的操作让我实在接受不了，怎么会有这样的人 +11 家与远方 2026-08-10 16/800 2026-08-16 10:28 by ray43
[精细化工] 招聘 金属平磨液，抛光液研发工程师 +3 小天0311 2026-08-14 3/150 2026-08-16 07:31 by H9PLUS
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +6 wangze12014 2026-08-14 7/350 2026-08-15 20:12 by gltch
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的，真有人买论文么？感觉没必要啊 +12 Tide man 2026-08-10 13/650 2026-08-15 16:34 by 氺木
[基金申请] 各位道友，我要去昆明玩几天，回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果？ +4 yuleib84 2026-08-11 4/200 2026-08-14 23:05 by lfy8008
[基金申请] 奇怪，两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +8 布布和一二 2026-08-10 11/550 2026-08-14 14:58 by Equinoxhua
[硕博家园] 请教兼职经验 +3 是阿文鸭 2026-08-09 3/150 2026-08-14 12:07 by HER12025
[硕博家园] 读博的好处 +4 lnee 2026-08-11 4/200 2026-08-14 10:20 by ahsoarli
[基金申请] 重要来源：本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] 不应该看fileCode +7 且听虎啸 2026-08-12 9/450 2026-08-13 14:27 by flydreamws
[基金申请] Filecode 又变了，巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] 结合人工智能，周易传统文化，filecode打分制来了，3分以上希望很大。 +3 Tide man 2026-08-12 4/200 2026-08-13 08:35 by ZJTJZ
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见，大家看看几个A，几个B? +11 Tide man 2026-08-11 11/550 2026-08-13 07:35 by 撸猫猫
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分？ +11 yufeiwaner 2026-08-09 13/650 2026-08-12 08:17 by yufeiwaner
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 7/350 2026-08-11 19:25 by Tide man
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭