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freeren896

木虫 (小有名气)


[交流] 【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源

请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
金属溅射不是用直流吗,射频不是氧化物才用吗?
是不是用射频镀金属膜比用直流好呀?
谢谢
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jjwl_rscn

金虫 (正式写手)



freeren896(金币+1):谢谢参与
金币送我的??
5楼2011-03-19 16:19:10
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查看全部 22 个回答

lulinsmann

木虫 (著名写手)



freeren896(金币+1):谢谢参与
freeren896(金币+1): 2011-03-16 12:58:25
没有谁规定金属必须用直流吧?倒是绝缘体必须用射频。
2楼2011-03-15 22:18:27
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211985:mad:

木虫 (著名写手)



freeren896(金币+1):谢谢参与
直流容易将小舟烧坏
3楼2011-03-15 23:53:01
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农家仔

铜虫 (小有名气)



freeren896(金币+1):谢谢参与
射频的溅射效率好像更低一些,在生长薄的膜时容易控制一点点,其它的原因俺就不懂了
9楼2011-03-21 10:30:04
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简单回复
parklyn11楼
2011-06-12 14:07   回复  
freeren896(金币+1):谢谢参与
引用回帖:
Originally posted by songxiao111 at 2011-06-10 15:18:21: 1、因为射频使用的是13.5MHz的射频电源,溅射材料的种类较多,涉及到金属及非金属和各类氧化物。 2、射频溅射的速率一般而言较直流溅射速率低,且有功率匹配,更容易精确控制生长过程,科研制模选择射频较好,工 ...

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