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eagle321

银虫 (正式写手)

应助: 1 (幼儿园)
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帖子: 416
在线: 111.7小时
虫号: 735239
注册: 2009-03-30
性别: GG
专业: 金属材料表面科学与工程

[求助] 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？已有1人参与

请教各位前辈：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？如何避免铬靶中毒，同靶电源的选择有关吗？谢谢

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反应磁控溅射

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thinkmore，thinkdifferent

1楼2012-02-16 22:07:19

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dxf930

金虫 (正式写手)

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性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料

RF、MF、A2K电源各自的特点是什么？

收获的日子早一天也是不行的!等待...追求...

6楼2012-11-13 13:10:39

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