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wangyinquan铁虫 (小有名气)
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[求助]
反应磁控溅射自偏压太高是问什么？
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| 在反应磁控溅射镀膜过程中，在溅射功率为50w的时候，自偏压为320V，当功率达到150w时，自偏压升高到620V，设备的其他参数基本正常，请问高手这是为什么，谢谢！！！ |
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 反应磁控溅射 | 薄膜材料的表征 | 薄膜材料和器件制备 |
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wanyue1111
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