应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 反应磁控溅射自偏压太高是问什么？
51/1返回列表
查看: 2354  |  回复: 5
只看楼主@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

wangyinquan

铁虫 (小有名气)

[求助] 反应磁控溅射自偏压太高是问什么？

在反应磁控溅射镀膜过程中，在溅射功率为50w的时候，自偏压为320V，当功率达到150w时，自偏压升高到620V，设备的其他参数基本正常，请问高手这是为什么，谢谢！！！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

反应磁控溅射 薄膜材料的表征 薄膜材料和器件制备

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼2012-03-24 17:48:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangyinquan

铁虫 (小有名气)
谢谢楼上两位，但是我已经把反射功率调到了0.2w，调不下去了，可是增加功率，自偏压还是升高很快，因为实验室其他设备的自偏压都在300V一下，我怕把设备给搞坏了，请问还没有其他什么原因呀，谢谢！！！
赞一下 回复此楼
4楼2012-03-25 09:39:19
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 6 个回答

qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
增加功率时，自偏压升高是正常的，调节下反射值会减小
赞一下 回复此楼
http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
2楼2012-03-24 20:48:16
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

读书人1236

铁杆木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这个很正常吧！通过调节反射电压就会下降的！
赞一下 回复此楼
不要怕被别人利用，人家利用你说明你还有用!!
3楼2012-03-24 22:27:33
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wanyue1111

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wangyinquan: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-03-28 10:05:31
可能由于你的阳极罩离靶材较近，我想你在实验中的辉光强度也很低。阳极罩离靶材太近还会影响镀膜的速率和成膜质量。建议找到一个合适的阳极罩离靶材表面的距离。
赞一下(3人) 回复此楼
天空飘来五个字，这都不叫事！
5楼2012-03-25 13:36:05
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 6 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭