应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 反应磁控溅射自偏压太高是问什么？
61/1返回列表
查看: 2529  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

wangyinquan

铁虫 (小有名气)

[求助] 反应磁控溅射自偏压太高是问什么？

在反应磁控溅射镀膜过程中，在溅射功率为50w的时候，自偏压为320V，当功率达到150w时，自偏压升高到620V，设备的其他参数基本正常，请问高手这是为什么，谢谢！！！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

反应磁控溅射 薄膜材料的表征 薄膜材料和器件制备

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2012-03-24 17:48:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖置顶 ( 共有1个 )

wangyinquan

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by wanyue1111 at 2012-03-25 13:36:05:
可能由于你的阳极罩离靶材较近，我想你在实验中的辉光强度也很低。阳极罩离靶材太近还会影响镀膜的速率和成膜质量。建议找到一个合适的阳极罩离靶材表面的距离。

非常感谢您的建议，您所说的现象和我做实验时的情况非常吻合，查书本上说，靶材和屏蔽罩的距离不能大于阴极暗区，原来靶材和屏蔽罩的距离在2mm左右，随着距离增大，辉光强度变得更弱了，需要在1.0pa以上才能看到明亮的辉光。气压低的情况下，起辉正常，但辉光发暗，请问能否给出一个大概的合适距离是多少，靶材直径60mm。厚度5mm，谢谢
赞一下 回复此楼
6楼2012-03-26 18:05:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
增加功率时，自偏压升高是正常的，调节下反射值会减小
赞一下 回复此楼
http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
2楼2012-03-24 20:48:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

读书人1236

铁杆木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这个很正常吧！通过调节反射电压就会下降的！
赞一下 回复此楼
不要怕被别人利用，人家利用你说明你还有用!!
3楼2012-03-24 22:27:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangyinquan

铁虫 (小有名气)
谢谢楼上两位，但是我已经把反射功率调到了0.2w，调不下去了，可是增加功率，自偏压还是升高很快，因为实验室其他设备的自偏压都在300V一下，我怕把设备给搞坏了，请问还没有其他什么原因呀，谢谢！！！
赞一下 回复此楼
4楼2012-03-25 09:39:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wanyue1111

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wangyinquan: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-03-28 10:05:31
可能由于你的阳极罩离靶材较近，我想你在实验中的辉光强度也很低。阳极罩离靶材太近还会影响镀膜的速率和成膜质量。建议找到一个合适的阳极罩离靶材表面的距离。
赞一下(3人) 回复此楼
天空飘来五个字，这都不叫事！
5楼2012-03-25 13:36:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 wangyinquan 的主题更新
61/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿矿大，材料工程专硕314分，0856可调都可以 +15 无懈可击的巨人 2026-04-09 15/750 2026-04-10 18:10 by hmn_wj
[考研] 一志愿东北大学控制工程085406数二英二385，求调剂 +6 Ezra_Zhang 2026-04-09 6/300 2026-04-10 16:23 by 高维春
[考研] 314求调剂 +23 wakeluofu 2026-04-09 24/1200 2026-04-10 15:31 by MOF_Catal
[考研] 296求调剂 +12 汪！？！ 2026-04-08 13/650 2026-04-10 12:09 by 汪！？！
[考研] 求调剂 +9 翩翩一书生 2026-04-09 9/450 2026-04-10 11:43 by wp06
[考研] 0702物理学学硕299求调剂 +6 祁柒连 2026-04-06 6/300 2026-04-10 11:10 by Roomoo
[考研] 一志愿中科大070300化学，314分求调剂 +12 wakeluofu 2026-04-09 12/600 2026-04-10 09:57 by liuhuiying09
[考研] 已调剂 +18 柴郡猫_ 2026-04-09 19/950 2026-04-09 22:10 by 柴郡猫_
[考研] 296求调剂 +6 汪！？！ 2026-04-09 6/300 2026-04-09 20:49 by lbsjt
[考研] 322求调剂，08工科 +3 今天是个小号 2026-04-08 3/150 2026-04-09 15:53 by wp06
[考研] 085600，321分求调剂 +19 大馋小子 2026-04-04 20/1000 2026-04-09 14:12 by Delta2012
[考研] 265求调剂 +4 风说她早忘了 2026-04-07 4/200 2026-04-09 13:59 by only周
[考研] 机械专硕273请求调剂 +6 庚申壬申 2026-04-07 6/300 2026-04-08 22:41 by bljnqdcc
[考研] 一志愿211，0703化学305分求调剂 +20 严西西戏 2026-04-06 26/1300 2026-04-08 22:12 by 凯凯要变帅
[考研] 283求调剂 +19 A child 2026-04-04 19/950 2026-04-08 14:26 by xingguangj
[考研] 283分求调剂 +14 试试看呗 2026-04-04 14/700 2026-04-08 07:03 by lijunpoly
[考研] 软工学硕299求调剂 +6 useryy 2026-04-07 6/300 2026-04-07 09:50 by vgtyfty
[考研] 22408 331分求调剂 +4 y__1 2026-04-06 4/200 2026-04-06 17:26 by 土木硕士招生
[考研] 331求调剂 +8 于征yz 2026-04-05 8/400 2026-04-06 00:54 by fmesaito
[考研] 材料专硕322分 +10 哈哈哈吼吼吼哈 2026-04-04 10/500 2026-04-05 21:22 by 学员8dgXkO
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭