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minner__

金虫 (小有名气)

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[求助] 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导

高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层，一个小时没镀上，求教可能的原因？

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坚持

1楼2013-11-05 15:38:18

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

zkchang

木虫 (小有名气)

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专业: 金属材料表面科学与工程

引用回帖:

17楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-07 12:21:24
高功率脉冲磁控溅射的一个特点就是峰值功率比平均功率高两个数量级，而从电源的显示屏上也只能看出峰值的电压电流，工程师说具体的平均输出需要用仪器测才知道。今天又试了下，虽然峰值功率较大，但靶表面没有之前 ...

"亮斑"?莫非发生弧光放电?
正常应该是亮度柔和的辉光晕.