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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导
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minner__

金虫 (小有名气)

[求助] 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导

高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层，一个小时没镀上，求教可能的原因？
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坚持
1楼 2013-11-05 15:38:18
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zkchang

木虫 (小有名气)
引用回帖:
17楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-07 12:21:24
高功率脉冲磁控溅射的一个特点就是峰值功率比平均功率高两个数量级，而从电源的显示屏上也只能看出峰值的电压电流，工程师说具体的平均输出需要用仪器测才知道。今天又试了下，虽然峰值功率较大，但靶表面没有之前 ...

"亮斑"?莫非发生弧光放电?
正常应该是亮度柔和的辉光晕.
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20楼2013-11-07 13:02:44
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
妹子的设备是哪里买的啊？
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2楼2013-11-05 20:47:14
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minner__

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2013-11-05 20:47:14
妹子的设备是哪里买的啊？

沈阳的
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坚持
3楼2013-11-05 20:48:52
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-05 21:48:52
沈阳的

沈科仪的么？
你的沉积速率多高啊？
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4楼2013-11-05 21:04:58
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