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minner__

金虫 (小有名气)

[求助] 高功率脉冲磁控溅射,求大神指导

高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层,一个小时没镀上,求教可能的原因?
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坚持
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minner__

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2013-11-05 20:47:14
妹子的设备是哪里买的啊?

沈阳的
坚持
3楼2013-11-05 20:48:52
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

妹子的设备是哪里买的啊?
2楼2013-11-05 20:47:14
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

引用回帖:
3楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-05 21:48:52
沈阳的

沈科仪的么?
你的沉积速率多高啊?
4楼2013-11-05 21:04:58
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minner__

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by wbcui at 2013-11-05 21:04:58
沈科仪的么?
你的沉积速率多高啊?...

沈阳科友的。我这个应该不是仪器的问题,以前镀得都还好,今天第一次用高功率脉冲做,参数比照文献设的,但感觉溅射时靶材亮度不对,还不停闪。应该还是我参数设的不好。你对这方面懂吗?我是刚开始做这个的菜鸟,求指教。。
坚持
5楼2013-11-05 21:16:38
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